Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #9375195 à vendre en France
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ID: 9375195
Poly etcher, 12"
AC Remote power rack
CHX Chiller
EDWARDS IXM 1800 Dry pump
Chambers:
(3) DPS (A, B, C)
AXION (D)
FI (EFEM):
UPS
MKS Macronode
Keyboard Video Mouse (KVM)
Ethernet switch hub
Fast Data Gateway (FDG)
Short flex controller assy
Light curtain
Load port
RFID
Aligner
Robot controller
Ionizer controller
Light tower
Intake plenum enclosure
MF:
Type: AP
TM Robot
TM Robot controller
TM Robot blade
Integrated point of use pump (I-PUP)
TM Baratron gauge
TM Vacuum gauge
Load lock vacuum gauge
Load lock indexer controller
TM Diffuser
Load lock vent valve
Load lock heater controller
Load lock door
Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
GME Chamber port Assy
Lid
Bulk gas delivery
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Process chamber:
Chamber Control Module (CCM)
Source coil
Source ceramic lid
Source lid heater
Upper liner
Lower liner
Cathode liner
Flow equalizer
Slit liner door
Cathode assy
ESC RF Filter box
AC Distribution box
Temperature controller
Throttling gate valve
Eyed OES Spectrograph
Electrostatic Chuck (ESC)
HE Controller
Ion gauge
Pumpstack
Chamber lift assy
TGN Gas delivery
Vacuum gauge
Vacuum switch
Pump
Foreline ISO Valve
RF Match box and generator
Strip chamber:
Chamber Control Module (CCM)
Pedestal assy
Throttling gate valve
Foreline ISO Valve
AC Distribution box
Temperature controller
Vacuum gauge
Vacuum switch
Remote plasma source
Gas panel:
Type: NEXTGEN (16) Sticks
Gas weldment type: Single line drop
Mass Flow Controller (MFC)
Flow Ratio Controller (FRC).
AMAT/APPLIED MATERIALS Le DPS G5 est un appareil DRIE (Deep Reactive Ion Etch) et Asher avec une large liste de fonctionnalités et de capacités. Il fonctionne en utilisant des ions pour graver ou asher un matériau, généralement un semi-conducteur, pour créer des motifs désirés. Il est composé de plusieurs composants, tels qu'une chambre source et une chambre de pression, pour soutenir ses fonctions de spécialité. La chambre de source comprend un système d'injection de vapeur, ainsi qu'une conception modulaire et amovible du collecteur. Cette chambre est maintenue sous vide pour une gravure de matière fiable. Les tests ont prouvé sa fiabilité et sa répétabilité. La chambre de pression abrite les gaz de procédé. C'est là que se produit l'essentiel de la gravure, et est maintenu précisément à une pression demandée. La chambre est également équipée d'un dispositif d'interception de la pression de sécurité, de surveillance de la pression à distance et de régulation de la pression. AMAT DPS G5 est conçu pour être convivial et a été construit pour la répétabilité des résultats. Il est équipé de deux générateurs RF de 50 MHz pour ioniser le gaz de procédé pour graver le matériau. La machine dispose également d'une technologie de polarisation en courant continu à haute tension, ainsi que d'un outil d'oxydation plasma pour s'assurer que les taux de gravure sont cohérents. La gamme de matériaux que l'actif peut graver est assez étendue, y compris le silicium, le nitrure de silicium, et d'autres semi-conducteurs. Le modèle est capable de produire un profil de gravure contrôlé, même sur des matériaux plus doux comme l'or. Les processus de gravure et de cueillette du plasma sont tous deux assez rapides et peuvent être terminés en un temps relativement court. La fonction intégrée de régulation de température et de sécurité, ainsi que les paramètres réglables et le temps de traitement, rendent l'équipement facilement réglable à une variété de projets et d'applications. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS G5 est un excellent graveur et asher pour aborder de nombreux projets différents. Avec ses composants fiables, son interface utilisateur facile et ses fonctionnalités réglables, il garantit que les projets sont réalisés avec précision et précision. Le système a fait ses preuves dans de nombreuses industries, et sa vaste gamme de matériaux et de capacités en font une option imbattable.
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