Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #9375195 à vendre en France

ID: 9375195
Poly etcher, 12" AC Remote power rack CHX Chiller EDWARDS IXM 1800 Dry pump Chambers: (3) DPS (A, B, C) AXION (D) FI (EFEM): UPS MKS Macronode Keyboard Video Mouse (KVM) Ethernet switch hub Fast Data Gateway (FDG) Short flex controller assy Light curtain Load port RFID Aligner Robot controller Ionizer controller Light tower Intake plenum enclosure MF: Type: AP TM Robot TM Robot controller TM Robot blade Integrated point of use pump (I-PUP) TM Baratron gauge TM Vacuum gauge Load lock vacuum gauge Load lock indexer controller TM Diffuser Load lock vent valve Load lock heater controller Load lock door Auto Pressure Controller (APC) Slit valve GME Chamber port Assy Lid Bulk gas delivery Modular DNET IO Controllers (MDI) Process chamber: Chamber Control Module (CCM) Source coil Source ceramic lid Source lid heater Upper liner Lower liner Cathode liner Flow equalizer Slit liner door Cathode assy ESC RF Filter box AC Distribution box Temperature controller Throttling gate valve Eyed OES Spectrograph Electrostatic Chuck (ESC) HE Controller Ion gauge Pumpstack Chamber lift assy TGN Gas delivery Vacuum gauge Vacuum switch Pump Foreline ISO Valve RF Match box and generator Strip chamber: Chamber Control Module (CCM) Pedestal assy Throttling gate valve Foreline ISO Valve AC Distribution box Temperature controller Vacuum gauge Vacuum switch Remote plasma source Gas panel: Type: NEXTGEN (16) Sticks Gas weldment type: Single line drop Mass Flow Controller (MFC) Flow Ratio Controller (FRC).
AMAT/APPLIED MATERIALS Le DPS G5 est un appareil DRIE (Deep Reactive Ion Etch) et Asher avec une large liste de fonctionnalités et de capacités. Il fonctionne en utilisant des ions pour graver ou asher un matériau, généralement un semi-conducteur, pour créer des motifs désirés. Il est composé de plusieurs composants, tels qu'une chambre source et une chambre de pression, pour soutenir ses fonctions de spécialité. La chambre de source comprend un système d'injection de vapeur, ainsi qu'une conception modulaire et amovible du collecteur. Cette chambre est maintenue sous vide pour une gravure de matière fiable. Les tests ont prouvé sa fiabilité et sa répétabilité. La chambre de pression abrite les gaz de procédé. C'est là que se produit l'essentiel de la gravure, et est maintenu précisément à une pression demandée. La chambre est également équipée d'un dispositif d'interception de la pression de sécurité, de surveillance de la pression à distance et de régulation de la pression. AMAT DPS G5 est conçu pour être convivial et a été construit pour la répétabilité des résultats. Il est équipé de deux générateurs RF de 50 MHz pour ioniser le gaz de procédé pour graver le matériau. La machine dispose également d'une technologie de polarisation en courant continu à haute tension, ainsi que d'un outil d'oxydation plasma pour s'assurer que les taux de gravure sont cohérents. La gamme de matériaux que l'actif peut graver est assez étendue, y compris le silicium, le nitrure de silicium, et d'autres semi-conducteurs. Le modèle est capable de produire un profil de gravure contrôlé, même sur des matériaux plus doux comme l'or. Les processus de gravure et de cueillette du plasma sont tous deux assez rapides et peuvent être terminés en un temps relativement court. La fonction intégrée de régulation de température et de sécurité, ainsi que les paramètres réglables et le temps de traitement, rendent l'équipement facilement réglable à une variété de projets et d'applications. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS G5 est un excellent graveur et asher pour aborder de nombreux projets différents. Avec ses composants fiables, son interface utilisateur facile et ses fonctionnalités réglables, il garantit que les projets sont réalisés avec précision et précision. Le système a fait ses preuves dans de nombreuses industries, et sa vaste gamme de matériaux et de capacités en font une option imbattable.
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