Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9379752 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE est un graveur/asher à plasma à courant continu de haute performance conçu pour l'enlèvement et le nettoyage précis des matériaux en couches dans la fabrication à l'échelle des plaquettes de produits à base de semi-conducteurs. AMAT DPS II AE profite de sa technologie plasma à courant continu innovante pour offrir une gravure ultra-rapide des couches jusqu'à l'échelle du nanomètre avec une excellente uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS II AE dispose d'une interface utilisateur complète et d'une gamme de fonctionnalités logicielles puissantes pour contrôler le processus de gravure, y compris le suivi des recettes, l'accord automatique des paramètres, la surveillance des processus en temps réel et le contrôle des flux de gaz et des courants d'électrodes. DPS II AE est capable de graver à des températures allant jusqu'à 200 ° C et avec des taux de gravure allant de 200 µm/min à 10 nm/min. En plus de sa capacité de gravure avancée, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE est également équipé d'une chambre de post-gravure intégrée (ASH) pour nettoyer la couche gravée, permettant d'éliminer rapidement les résidus organiques sans introduire de contamination par les particules. La chambre ASH est conçue pour gratter de façon fiable tout résidu de la surface de la plaquette avant qu'il puisse causer des dommages importants. Afin d'assurer une gravure toujours précise, AMAT DPS II AE est équipé de plusieurs systèmes de détection et de contrôle. Il s'agit notamment d'un régulateur de débit de gaz intégré, d'une chambre de pression différentielle contrôlée, d'un manomètre, d'un capteur de température et d'un générateur de plasma RF. Cette combinaison de capteurs et de contrôleurs permet un contrôle précis du processus de gravure et fournit des résultats cohérents avec une variation minimale. En termes de sécurité, LES MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS II AE sont certifiés CE et satisfont ou dépassent toutes les exigences applicables en matière de sécurité des graveurs/asher. Son intérieur est efficacement scellé de l'environnement extérieur, tandis que des sources d'énergie redondantes et des fonctionnalités de gestion de l'énergie sont en place afin d'assurer un fonctionnement fiable et sûr. Dans l'ensemble, DPS II AE est un graveur/asher incroyablement puissant et polyvalent idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa technologie plasma à courant continu offre une gravure rapide, répétable et précise ainsi qu'un haut degré de contrôle sur le processus de gravure. Il est également certifié CE pour une sécurité maximale et est équipé de toutes les caractéristiques nécessaires pour une fabrication sûre et efficace à l'échelle des plaquettes.
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