Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9103057 à vendre en France
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ID: 9103057
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Metal etcher, 12"
(3) Chambers
(2) Axiom chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Asher est un équipement avancé de gravure et de nettoyage par plasma conçu pour des applications de R&D et de production. Il combine des capacités de gravure sèche à haute performance, une excellente élimination des particules, un nettoyage à basse température et des temps de descente rapides. Le système offre une précision et une répétabilité supérieures pour l'optimisation des processus de gravure. AMAT DPS II Asher dispose d'une chambre à vide avec un élément chauffant pour le nettoyage ou la gravure chaud et à basse pression. Il comporte également une table tournante pour permettre la mise en place du produit sur les étages de transfert pour la gravure. Un contrôleur de processus avancé surveille les paramètres du processus tandis qu'une interface utilisateur LCD aide les opérateurs à manœuvrer à travers la procédure. Le processus de gravure du plasma est piloté par un générateur haute fréquence qui utilise une source de plasma RF pour créer et contrôler le champ du plasma. Une unité d'émission intégrée est alors utilisée pour contrôler le plasma à partir de la chambre de gravure et pour assurer et maintenir les conditions de la chambre. La chambre dispose également d'un multimètre numérique haute résolution et d'un propulseur numérique pour assurer un contrôle précis du processus de gravure. Le contrôleur de processus est équipé de données de rétroaction en temps réel pour assurer une gravure précise et précise. Il peut être relié à un PC externe pour la télécommande du processus. La machine dispose également d'un outil de contrôle de la température en boucle fermée qui verrouille la température du processus de gravure et d'un atout de contrôle de la température haute performance pour s'assurer que la température du cendrier est toujours maintenue. En outre, le processus de gravure peut être surveillé avec une variété de diagnostics tels que la spectroscopie d'émission optique, la spectroscopie de masse, et d'autres paramètres de processus. Le modèle est capable de nettoyer les particules de la surface de la gravure, réduisant la contamination des particules. Il permet également un accès facile à la chambre à vide pour un entretien et une réparation rapides. Les principaux avantages de APPLIED MATERIALS DPS II Asher comprennent une répétabilité, une valeur et des performances élevées pour la gravure, le nettoyage et d'autres applications. Il offre une précision et une répétabilité supérieures, une contamination des particules minimisée, des temps de rampe rapides et une excellente propreté de la surface de gravure. L'équipement est également facile à utiliser, efficace et économique.
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