Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9192386 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II est un graveur/asher conçu et construit par AMAT, Inc. L'équipement polyvalent est capable de graver et/ou de soutirer une variété de wafer et de matériaux céramiques dans de nombreux procédés semi-conducteurs. La Technologie Multi-ZoneTM avancée de II D'AMAT DPS et le Système de Livraison du Gaz Fusion™ tiennent compte du pré-conditionnement et de la commande du processus pour le produit et les exigences spécifiques d'application. Cette capacité optimise les performances et le contrôle de la gravure et de la cendre au niveau de la porte. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Les procédés de gravure et de cendrage du DPS II sont basés sur une chimie contrôlée du plasma d'oxygène ou d'azote. Ces processus peuvent être adaptés et ajustés en termes de pression, de courant et de plasma. Avec DPS II, le processus peut être réglé pour fonctionner dans sa gamme optimale pour la gravure et le cendrage. De plus, l'agencement de la chambre et de l'électrode est conçu pour produire une excellente répartition du débit conduisant à des profondeurs de gravure uniformes sur la plaquette. Une autre caractéristique importante d'AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II est son unité de distribution de gaz à haut rendement. Il est conçu avec une nouvelle machine de filtration à deux étages pour garantir une grande pureté des gaz. Cela améliore la qualité de nettoyage de tout procédé sans augmenter le temps de traitement. Il permet également des températures de processus plus élevées avec un encrassement réduit des électrodes et une meilleure isolation électrique. Ceci, à son tour, permet une plus grande uniformité sur la plaquette. AMAT DPS II comprend également une fonction de réactivité automatique TM pour réduire la défectivité et retravailler. Il améliore l'ajustement du processus en ajustant automatiquement le bon ensemble de paramètres de gravure et élimine la nécessité d'ajuster manuellement les conditions de la chambre. Cette fonctionnalité permet de passer à différentes conditions de processus rapidement et efficacement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS II comprend également un outil complet d'interface utilisateur qui permet aux utilisateurs de surveiller, suivre et contrôler le processus de gravure et/ou de cueillette en temps réel. Il fournit également un certain nombre de fonctions de contrôle automatique de processus pour améliorer la précision et la répétabilité. Dans l'ensemble, DPS II est un graveur/asher conçu pour fournir une excellente répétabilité, précision et contrôle des processus de gravure et ashing. Il inclut une Technologie Multi-ZoneTM et un Actif de Livraison du Gaz Fusion™ à la condition préalable le processus aux exigences d'application et spécifiques. Il offre également un modèle de livraison de gaz à haut rendement, une fonction de réactivité automatique et un équipement d'interface utilisateur complet pour la surveillance et le contrôle des processus en temps réel.