Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255366 à vendre en France
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ID: 9255366
Taille de la plaquette: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 70
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 100
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 200
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II est un équipement avancé de gravure/cendres conçu pour produire des résultats de surface supérieurs dans les applications microélectroniques. Le système est composé d'une chambre de traitement à ultra-haute dépression multi-chambres, d'une technologie d'ablation unique et d'un ensemble de capteurs sophistiqués. AMAT DPS II est idéal pour le contrôle serré des procédés de gravure humide et sèche, de cendrage et de dépôt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS II a été spécialement conçu pour la gravure, le cendrage et le dépôt de matériaux diélectriques et semi-conducteurs. Sa chambre à vide ultra haute est capable d'atteindre une pression inférieure à 10-8 Torr et des garnitures murales lacées au carbone qui minimisent les dégazages. Une technologie d'ablation avancée améliore encore les performances unitaires, permettant un contrôle précis des paramètres du processus et une répétabilité fiable du processus. Le capteur avancé de DPS II assure un contrôle précis des paramètres du processus. Il se compose de deux contrôleurs indépendants et de quatre pyromètres pour la surveillance de la température, de la pression et de la puissance RF. De plus, trois thermocouples et quatre régulateurs de débit massique contrôlés numériquement assurent un contrôle de processus stable et reproductible. En outre, la machine dispose d'une machine de bord qui fournit une détection de l'orientation de la plaquette supérieure, la manipulation de la plaquette de précision, et le refroidissement directionnel de la plaquette. L'ensemble unique de capteurs AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II offre une variété d'avantages, y compris une uniformité de température et une stabilité supérieures de la chambre, un débit accru et une meilleure qualité de surface. En outre, la technologie avancée d'ablation permet une gravure précise, répétable, ashing et le contrôle des processus de dépôt. En outre, sa conception multi-chambres permet l'intégration de multiples processus de gravure/cendres dans un seul outil, économisant du temps et de l'argent. Dans l'ensemble, AMAT DPS II est un actif avancé de gravure/cendres conçu pour fournir des résultats de surface supérieurs dans les applications de microélectronique. Sa chambre à vide ultra haute, sa technologie d'ablation unique et son ensemble de capteurs de pointe garantissent un contrôle précis et reproductible des processus. De plus, sa conception de modèles multi-chambres permet l'intégration de processus de gravure/cendres multiples dans un seul équipement, augmentant le débit tout en minimisant les coûts.
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