Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9255367 à vendre en France
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ID: 9255367
Taille de la plaquette: 12"
Poly etcher, 12"
ADVANCED ENERGY Navigator 3013 Source matcher, 3155132-004
ADVANCED ENERGY Navigator 1513 Bias matcher, 3155126-020
ADVANCED ENERGY APEX 3013 Source generator, 3156113-006
ADVANCED ENERGY APEX 1513 Bias generator, 3156110-005
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER A100L Load lock pump
PC: Pentium 4
Chamber A, B and C:
ESC, 0041-26723
Ceramic lid, 0200-06404
Hub, 0200-04969
Gas nozzle, 0050-88146
Quartz single ring, 0200-04619
Insulator, Quartz, 0200-36034
Lower chamber liner, 0040-43977
Upper chamber liner, 0040-81156
Cathode liner, 0021-26273
Plasma screen, 0021-26274
Lift pin, 0200-04593
Plasma screen screw cover, 0200-00933
SLD Door, 0020-89739
TGV, 0190-29611
High voltage module, 0190-23905
Lid heater, 0090-04235
FE-ICP, 0010-37963
Source outer coil capacitor, 0630-00665
TGN Gas line, 0050-88146
Gas nozzle lower clamp, 0041-10491
Gas nozzle upper clamp, 0041-10490
PCB Water leak detector, 0190-02076
Interlock module, 0190-17964
CPCI 3U Quad serial communication, 0190-23509
CPCI48 Digital 48 I/O, 0190-07450
CPCI 32/16 Analog 32/16 I/O, 0190-22967
Dnet BUS scanner, SST CPCI, 0190-16926
SBC C400MHZ 3U 4HP 64M RAM Vx works, 0190-24007
One slot 3U Power supply, 0190-07502
Helium controller (IHC) assy, 0010-07061
Heater controller, 0190-26495
EyeD SRM, 0190-28658
EyD Fiber optic cable, 0190-19764
EPD Window point, 0200-02160
Manometer window port, 0200-39135
Chamber D:
Throttle valve, 3870-03335
SLD Door, 0040-47461
Temperature controller, 0010-19317
Interlock module axiom, 12", 0190-15733
DIP Board, 0190-07450
AIO Board, 0190-22967
D-Net scanner board, 0190-16926
SBC Board, 0190-24007
Power supply board, 0190-07502
Serial communication board, 0190-23509
Pedestal, 0010-34860
Lift pin, 0021-43884
Top cap, GDP, Axiom HT, 0200-02980
Liner, side GDP, Axiom HT, 0200-02981
Lower GDP, HT2, Axiom, 0200-02272
Insert quartz glass, 3350-00048
Single ring, 0020-47977
Gas configuration:
Chamber A:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 200
Gas07 / O2S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500
Chamber B:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 1000
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 500
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 400
Chamber C:
Gas / Name / Size
Gas01 / BCL3 / 200
Gas02 / HBR / 500
Gas03 / CHF3 / 200
Gas04 / CL2 / 200
Gas05 / NF3 / 100
Gas06 / O2 / 300
Gas07 / O2_S / 20
Gas08 / SF6 / 50
Gas09 / CF4 / 300
Gas10 / N2 / 300
Gas11 / HE / 500
Gas12 / AR / 500.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II est un équipement de gravure à plasma à couplage inductif (ICP). Il s'agit d'un système de gravure à couplage inductif (ICE) haut de gamme, à grande échelle, avec des caractéristiques telles que la gravure par lots à un seul navire, une grande uniformité de processus et un débit élevé. AMAT DPS II est une unité de gravure haut de gamme, dotée de quatre chambres traversantes, intégrées à la machine. Ces chambres sont conçues pour graver une variété de matériaux, y compris des films organiques diélectriques et métalliques, ainsi que des couches résistives de masque dur, d'épitaxie et de plaquette. L'outil peut être configuré pour graver en une seule ou plusieurs chambres, avec jusqu'à quatre couches simultanément. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS II dispose également d'une technologie avancée de contrôle des processus, avec une base de données intégrée basée sur les recettes des clients et des OEM. Cela permet à l'actif d'obtenir une bonne uniformité de gravure, un débit élevé et des paramètres de processus bien définis. La DPS II possède une large gamme de produits chimiques de gravure, allant de la gravure CF4-based ‘hard mask’ et XeF2-based à la gravure de carbone à base de micro-ondes. La capacité de chimie et la flexibilité de ce modèle permettent aux utilisateurs de graver une variété de matériaux, allant du silicium au GaAs et au-delà. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II dispose également d'une source de tension avancée Intelligent Power Supply, qui fournit une puissance, une fréquence et une capacité de compensation réglables pour permettre des gravures précises et répétables. L'équipement peut être intégré à une variété d'outils logiciels de simulation de processus, fournissant un modèle virtuel précis du processus de gravure et aidant à l'optimisation des processus. AMAT DPS II s'est avéré être un outil important dans la fabrication de composants microélectroniques et optoélectroniques. Sa flexibilité, son interface conviviale et sa capacité de processus de haut niveau en font une partie appréciée du processus complexe nécessaire à la fabrication de composants performants et fiables pour les applications semi-conductrices et opto-électroniques.
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