Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS Poly #9303002 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS DPS Poly est un graveur/asher principalement utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un réservoir de transport de polyéthylène chauffé qui délivre des plaquettes dans une chambre de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette chambre est équipée d'un préchauffeur, d'un générateur RF, de substrats et d'une bobine d'adaptation ainsi que d'autres composants. AMAT DPS Poly a plusieurs processus au sein d'une seule chambre qui lui permettent d'obtenir des résultats supérieurs de gravure et de dépôt. Cet équipement est doté d'une technologie de gravure ionique réactive (RIE) à double tête, ainsi que d'un procédé de polissage chimique-mécanique (CMP) pour améliorer les surfaces des semi-conducteurs. Les deux conceptions de tête distinctes au sein du système permettent la gravure des couches métalliques et diélectriques en même temps. L'unité comprend également un contrôleur programmable qui permet à l'utilisateur de programmer différentes étapes de profil de gravure, ainsi que la température et la pression de la chambre. Ceci permet un contrôle précis du processus de gravure et de dépôt en fixant la température, la pression et le niveau de puissance RF. Le générateur RF produit à la fois un RF stationnaire et un RF pulsé lors des opérations de gravure plasma. La bobine d'adaptation, qui peut être réglée par le contrôleur de programme, est utilisée pour contrôler la variabilité de route à route d'impédance lors des opérations de gravure plasma. Pour augmenter le débit de MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS Poly, AMAT a mis en œuvre le « Substrat Cascade Loader ». Cela permet à deux substrats de passer par n'importe quel procédé en même temps. Ce procédé est connu pour réduire drastiquement le temps de traitement global. Le logiciel développé par APPLIED MATERIALS pour DPS Poly est également facile à utiliser. Il dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive qui peut être utilisé pour entrer rapidement des recettes pour chaque processus de gravure ou de dépôt. Ce logiciel permet également de surveiller en temps réel les niveaux de température, de pression et de puissance RF de la chambre. En conclusion, les caractéristiques d'AMAT/APPLIED MATERIALS DPS Poly etcher/asher en font un excellent choix pour tous ceux qui recherchent une machine multifonctionnelle capable de gérer les processus de dépôt et de gravure. Il offre des fonctionnalités robustes telles que le chargeur en cascade de substrat, RIE double tête, et le contrôleur programmable, ainsi que des logiciels faciles à utiliser. Ces caractéristiques ont fait d'AMAT DPS Poly l'une des machines les plus utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs.