Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747936 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS est un asher/graveur de résistance utilisé pour le traitement des plaquettes. Il utilise deux sources de gaz pour graver les couches de matières résiduelles à la surface de la plaquette. Le premier gaz est un gaz à base d'oxygène, ce qui facilite l'élimination de la résistance en décomposant les liaisons carbone du matériau et en exposant les films de silicium en dessous. Le second gaz est un gaz à base d'halogène, qui agit comme un graveur et décapite les films exposés. Le gaz à base d'halogène réagit avec les films de silicium et forme des ions halogénures qui réagissent ensuite avec le gaz à base d'oxygène pour former des composés volatils qui sont ensuite éliminés par les gaz d'échappement. AMAT DPS est largement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il s'agit d'un outil important dans divers processus de recherche et de production, tels que le décapage des photorésistances, la planarisation mécanique chimique (CMP) et le dépôt de couche atomique (ALD). Il est également utilisé dans la fabrication de dispositifs tels que des puces à mémoire, des portes logiques, des transistors et des cellules photovoltaïques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS est composé de deux parties distinctes. La première est la chambre, qui est isolée du reste de l'équipement et où se produit le traitement. C'est dans cette chambre que les gaz et autres produits chimiques sont introduits dans le substrat. La deuxième partie est le système de distribution, qui est typiquement constitué de buses d'injection et d'un dispositif de chauffage. Les buses d'injection sont utilisées pour diriger précisément les gaz sur la plaquette, et le chauffage est utilisé pour chauffer la plaquette de sorte que les produits chimiques gravent les zones désirées. DPS est également équipé d'une unité de contrôle de la rétroaction pour assurer la cohérence et la précision de chaque processus. Cela permet de s'assurer que le motif désiré est gravé et que les résidus sont éliminés avec précision. La machine dispose également de fonctions de détection de défauts et de signalement d'alarme, qui alertent l'utilisateur de toute anomalie au cours du processus de gravure. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS est un outil puissant et fiable dans la production de dispositifs microélectroniques avancés. Avec sa machine de contrôle sophistiquée et sa gravure précise, cette machine est essentielle au développement et à la fabrication des dispositifs et produits du futur.