Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747937 à vendre en France
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ID: 293747937
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Poly etcher, 12"
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS est un graveur/asher conçu pour le traitement par lots et simple plaquette. Cet équipement offre une précision, une répétabilité et une précision supérieures dans les processus de gravure et de cueillette. Il dispose d'une conception de robinet à fente puissante qui minimise le contact avec la plaquette et permet une exécution volumétrique précise. Le système se compose d'une chambre de traitement 1050mm x 530mm, qui est adapté à une variété de substrats et de grandes tailles de plaquettes pour la production à grande échelle. Avec son unité de transfert de plaquettes EasyLift™, les utilisateurs peuvent transférer des plaquettes vers et depuis AMAT DPS sans difficulté. Sa conception entièrement automatisée axée sur la recette aide à rendre le fonctionnement extrêmement simple. La machine permet aux utilisateurs de créer des recettes répétables pour différents processus de gravure/ashing, tels que la gravure anisotrope, isotrope et aval. Il permet un contrôle en douceur de la température et du débit de gaz, et passe automatiquement entre les processus de gravure et de cueillette. Cela permet une gravure robuste et l'ashing des substrats avec une entrée minimale de l'utilisateur. La chambre est équipée d'une conception basse pression qui assure une atmosphère uniforme et contrôlée pour optimiser encore le débit. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS prend également en charge une grande variété de procédés chimiques et de gaz, tels que le CF4, le SF6, l'O2, le N2, l'Ar et le CHF3. En plus de fournir une gravure et un cendrage fiables, DPS est conçu pour une flexibilité maximale du processus. Il permet aux utilisateurs de programmer leurs propres recettes et d'optimiser les paramètres de l'outil à leur application. Avec cette flexibilité, les utilisateurs peuvent effectuer une gravure anisotrope profonde sensible avec une grande précision. Pour garantir des processus de gravure et de cueillette répétables, l'actif dispose d'un modèle de gestion du gaz qui surveille la pureté et la composition du gaz qui peuvent être surveillées et stockées. L'équipement dispose également de garanties intégrées pour assurer la sécurité en tout temps. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS a été conçu en mettant l'accent sur la simplicité et l'efficacité opérationnelles. Il offre une précision, une répétabilité et une fiabilité supérieures, ce qui le rend idéal pour la gravure de plaquettes et le cendrage. Ce système est un excellent choix pour les professionnels de l'industrie et les étudiants qui recherchent une unité de gravure et de cueillette facile à utiliser, fiable et efficace.
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