Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293747938 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS est une gravure/cendres à plaques parallèles conçue pour déposer, graver, feuilleter et/ou recuit une variété de matériaux. Les gravures/cendres sont programmées avec des recettes pour permettre les résultats reproductibles des opérations de gravure par lots. Les systèmes DPS d'AMAT offrent une technologie de processus avancée intégrant le contrôle automatisé des processus, l'automatisation des recettes, le diagnostic, le matériel de procédé de pointe et une interface conviviale pour les opérateurs. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement DPS offre une large gamme d'options de configuration et de fonctionnalités telles que le biais haute fréquence en option, le chargement automatisé des échantillons, le nettoyage du plasma atmosphérique et les filtres d'échappement. Les systèmes DPS sont conçus pour l'uniformité, la répétabilité et un haut débit de production. Avec des temps de cycle rapides, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS assure un contrôle précis et répétable des processus et des résultats répétables d'un lot à l'autre. Le système de contrôle numérique du procédé assure en outre un contrôle précis des conditions du procédé de gravure, ce qui permet d'obtenir des résultats de gravure ou de dépôt uniformes. Les systèmes AMAT DPS disposent d'une technologie supérieure de manutention des plaquettes pour le placement et le déplacement des échantillons. La technologie d'alignement des plaquettes de haute précision utilise un porte-plaquettes supérieur et inférieur automatisé pour le placement et le déplacement précis des échantillons avec inclinaison négligeable des plaquettes. L'unité de manipulation de l'échantillon dispose également d'une rotation précise des plaquettes et d'une commande de décollage. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Les systèmes DPS comprennent également le contrôle intégré de l'équipement, le script des recettes et la surveillance des performances. Les systèmes DPS plus avancés comprennent la détermination automatisée de la position de l'échantillon par caméra et le nettoyage automatisé après gravure pour assurer davantage les résultats de gravure reproductibles. La machine de diagnostic intégrée permet d'identifier immédiatement les éventuels problèmes de processus. Les systèmes DPS AMAT/APPLIED MATERIALS présentent également des caractéristiques de propreté et de sécurité, y compris le piégeage des particules par un outil d'échappement filtré HEPA et un actif automatisé de gestion des effluents gazeux. Les systèmes DPS AMAT disposent également d'un modèle de surveillance OES en cours d'exécution pour la surveillance en temps réel des résultats des gravures. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Les systèmes DPS vont des modèles économiques aux modèles sophistiqués et sont capables de graver un large éventail de matériaux, y compris le silicium, le quartz, le dioxyde de silicium, le silicium polycristallin, l'arséniure de gallium, l'aluminium, etc.