Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #293760158 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS + est un système de graveur/asher avancé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure et le cendrage du plasma. Ce dispositif est conçu pour optimiser le traitement en couches minces et éliminer les dommages aux structures du dispositif du processus de gravure et de cueillette. AMAT DPS + offre une grande uniformité de gravure et d'ashing sur la surface de la plaquette et une amélioration de l'élimination et de la fixation des films diélectriques en offrant une finition de surface uniforme et lisse. Ceci permet un contrôle très précis des paramètres de gravure et d'ashing tels que puissance, pression, rapport de débit de gaz, vitesse de gravure et uniformité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS + utilise un procédé de chauffage multifréquence unique qui est utilisé pour effectuer des gravures de haute qualité et des couches minces. Dans le procédé de gravure, les hautes fréquences sont utilisées pour graver à travers le film mince et les basses fréquences sont utilisées pour graver le matériau sans endommager le substrat sous-jacent. Ce procédé offre un temps de gravure plus court et des profils de gravure améliorés par rapport aux systèmes de gravure plasma classiques. DPS + est également conçu pour un cendrage rapide ultra-rapide. Cette fonctionnalité permet d'enlever efficacement les matériaux et de durcir les couches diélectriques, les couches métalliques et d'autres matériaux. Cela permet d'augmenter le débit et d'améliorer les rendements dans le processus de fabrication. AMAT/APPLIED MATERIALS DPS + offre également des fonctionnalités d'automatisation avancées telles que la reconnaissance intelligente des pièces, la configuration automatisée des processus et la cartographie des plaquettes. Cela permet une reconnaissance efficace des pièces, un placement précis des pièces pour un alignement précis, une reproductibilité accrue et une optimisation réduite des paramètres de temps de traitement. Cela réduit le risque d'erreurs de processus et élimine les temps d'arrêt de processus coûteux. AMAT DPS + est disponible dans un large éventail de tailles et de configurations qui répondent aux besoins de la plupart des applications. L'appareil offre également une gamme complète de paramètres de processus pour tenir compte des géométries complexes en couches minces et des conditions de processus. Il est conçu pour résister à des environnements à haute température et est également capable de fonctionner dans des environnements de pression non uniformes. En résumé, APPLIED MATERIALS DPS + est un système de graveur/asher avancé qui peut être utilisé pour graver et asher des couches de couches minces avec une grande précision, uniformité, et un temps de processus réduit. Ses fonctionnalités d'automatisation avancées et les paramètres configurables des processus fournissent un contrôle efficace des processus et des rendements améliorés qui sont essentiels pour les processus de fabrication de haute technologie d'aujourd'hui.