Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204533 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Deep Plasma Strip) est un graveur/asher utilisé principalement dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer plusieurs opérations d'enlèvement simultanément, telles que la gravure, le nettoyage du plasma, le micro-strippage et le strippage des plaquettes, tout en maintenant une vitesse de gravure uniforme sur divers substrats. L'architecture matérielle unique de l'équipement comprend des chambres de séparation et de commande, ce qui lui permet de rouler rapidement entre les trois étages de gravure avec un temps de séjour réglable. Cela permet à la chambre de basculer entre les modes de gravure, tout en conservant la précision et la répétabilité du processus. AMAT DPS est le plus couramment utilisé pour l'élimination de couches de photorésist, de polymères et de films métalliques allant de couches minces à très épaisses. Il convient à de nombreux procédés dans lesquels la gravure rapide des surfaces exemptes de défauts est critique, tels que la fabrication d'appareils MEMS, d'IGBT et de wafers SOI. Il est également adapté à d'autres procédés tels que le nettoyage des trous de contact, via la gravure, l'isolation des tranchées et le remplissage des trous. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS dispose d'un système de vide à semi-conducteur pour la cuisson en chambre de processus, ainsi que des capacités de purge à basse pression de l'azote et de l'oxygène. Cela permet un environnement 100 % gazeux à pression réduite dans la chambre de procédé basse pression, permettant des cycles de nettoyage à gaz mixtes contrôlés avec des résultats de gravure uniformes. Il permet de contrôler la chimie du procédé, la pression et la température, avec un réglage précis des paramètres tels que la puissance RF, la pression et le débit. L'unité comprend plusieurs caractéristiques pour assurer une performance optimale. Une de ces caractéristiques est le fait que DPS fournit une puissance pulsée avec un débit d'impulsion réglé en usine et une largeur d'impulsion réglable. La vitesse est réglable par paliers de 80 à 200 Hz. Ceci fournit des processus répétitifs avec une grande précision qui réduit les risques de dommages au substrat. De plus, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS a une conception de chambre facile d'accès qui permet un nettoyage et un entretien rapides. Cela réduit les temps d'arrêt et évite la contamination en éliminant la nécessité d'ouvrir la chambre et de nettoyer la plaquette. Dans l'ensemble, AMAT DPS est un graveur/asher exceptionnellement polyvalent et fiable qui fournit des résultats très cohérents pour une gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs. C'est une machine intuitive qui offre aux utilisateurs un contrôle complet des paramètres de traitement, ce qui leur permet d'adapter le processus à différents substrats et couches.