Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9204820 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Deep Silicon Etcher/Asher) est un outil critique pour le processus de fabrication de semi-conducteurs utilisé pour créer des dispositifs de haute performance. C'est un équipement de traitement multi-chambres à haut débit qui peut fournir de manière fiable les techniques de développement et de fabrication nécessaires pour découper des motifs précis dans une plaquette de silicium. Le système AMAT DPS se compose de deux chambres principales séparées par un mur, une serrure et une chambre d'échappement. La première chambre abrite les modules de procédé et contient deux plaques de gravure, où les plaquettes sont placées pour le traitement. Cette chambre est remplie d'un gaz qui est typiquement un mélange de chlore et de composés fluorés. La deuxième chambre contient un piston et un étage de mouvement linéaire pour fournir la force nécessaire à la gravure et à l'ashing. La serrure de charge est utilisée pour déplacer les plaquettes entre les deux chambres sans laisser l'environnement ambiant se mélanger aux gaz à l'intérieur des chambres. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme DPS comprend deux processus primaires, la gravure et l'ashing. La gravure est utilisée pour créer des poches peu profondes dans la plaquette de silicium avec un profil incliné, tandis que l'ashing est utilisé pour enlever tout matériau restant du processus de gravure. L'outil DPS offre des capacités de gravure et d'ashing de haute précision avec des processus reproductibles et une uniformité précise sur l'ensemble de la plaquette. Pour ce faire, l'unité utilise une optique hautement spécialisée et un mécanisme de direction de faisceau pour s'assurer que le temps, l'énergie et la profondeur appropriés sont appliqués à chaque plaquette. Les applications de la machine DPS AMAT/APPLIED MATERIALS sont diverses et couvrent un large éventail de secteurs. Il est utilisé dans une variété de technologies telles que la production de semi-conducteurs haute vitesse/haut rendement, la fabrication de dispositifs d'affichage et la fabrication de dispositifs à couches minces. L'outil est également utilisé pour la production avancée de photomasques et la fabrication MEMS (Microelectromechanical Systems). En outre, il est utilisé pour fabriquer des composants pour des interconnexions électroniques, des mémoires haute densité et des paquets IC. Avec ses jeux de fonctionnalités avancés, sa précision et sa flexibilité, la plate-forme AMAT DPS joue un rôle important dans le progrès continu de la fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs. L'actif est conçu pour répondre aux normes strictes de l'industrie et fournit un fonctionnement fiable, ce qui donne des rendements et des performances accrus.