Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9209124 à vendre en France

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ID: 9209124
Taille de la plaquette: 12"
Chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS etcher/asher est un type d'etcher/asher sous vide utilisé pour créer des composants spécialisés et des dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un procédé de gravure et de cueillette robuste, fiable et reproductible qui répond à toutes les exigences strictes de l'industrie. AMAT DPS dispose d'une conception d'armoire unique qui abrite une source de plasma, une série de réactifs, des composants de chambre, des gaz de procédé et des logiciels d'électronique de contrôle/interface graphique. MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS peut produire des résultats de gravure et de cendres de haute qualité et reproductibles dans une grande variété de matériaux semi-conducteurs industriels, y compris les métaux, l'oxyde, le nitrure et les films diélectriques à faible teneur en k. La machine est livrée avec une grande chambre qui permet une gravure et une cendre plus uniformes dans toutes les zones de la plaquette sans « effets de bord », ce qui pourrait entraîner une défaillance potentielle de la puce ou une perte de rendement. Le contrôle automatisé du cycle avec DPS maintient les paramètres de processus essentiels pour une uniformité uniforme entre les lots, tandis que les diagnostics intégrés surveillent le rendement du système et rendent compte des résultats en temps réel. Le DP Etcher/Asher permet à l'utilisateur de régler automatiquement la pression et la température de la chambre, permettant une gravure/cendres plus précise à chaque fois. En outre, la large gamme de fenêtres de processus disponibles le rendent adapté à la gravure d'une large gamme de matériaux et de substrats. L'etcher/asher est livré avec des capacités progressives de contrôle des sources. Cela permet à l'utilisateur de mélanger sélectivement la puissance de la source de plasma, des réactifs et des gaz en fonction de l'application en cours de traitement. Cela garantit une gravure/cueillette précise et efficace. L'unité est également livrée avec un système de distribution de gaz d'alimentation directe, qui délivre les gaz de procédé à la chambre à plasma en précisément le drotmix et la quantité. Ceci est couplé à un contrôle de composition de gaz en cascade pour un contrôle de procédé affiné. La machine est également très conviviale et fiable, grâce à un HMI intuitif (Human-Machine Interface) qui comprend des fonctionnalités d'automatisation et une base de données d'interface graphique pour faciliter la configuration et le réglage des processus. De plus, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS comprend des dispositifs de sécurité intégrés pour protéger les composants des dommages et des résultats inattendus de gravure/cendres. Cela comprend le verrouillage, les capteurs de pression, les détecteurs de débit de gaz de sortie et les capteurs de sécurité d'arrêt. En conclusion, AMAT DPS Etcher/Asher est un système de gravure/cueillette efficace, fiable et économique utilisé pour créer des composants de haute qualité, de précision et des dispositifs semi-conducteurs. Ses caractéristiques robustes, son contrôle fiable et son interface utilisateur unique permettent une excellente répétabilité et un débit élevé. Les différentes caractéristiques de sécurité garantissent que les composants ne sont pas endommagés dans le processus.
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