Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9396746 à vendre en France

ID: 9396746
Surface cleaning system.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS est un graveur/asher à sec automatisé conçu pour la production de microélectroniques. Il est capable de nettoyer, planariser et graver de petits composants complexes en utilisant des techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à base de plasma. AMAT DPS etcher est basé sur une source de pulvérisation magnétron tournante qui est conçue pour graver de minuscules caractéristiques en un temps ultra-court en utilisant un faisceau extrêmement précis. Il utilise une technologie brevetée de rayonnement ionique qui produit un flux de plasma concentré et contrôlé pour cibler les minuscules caractéristiques ou d'autres domaines d'intérêt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS DPS etcher utilise un cône magnétique passif qui aide à surveiller sa position avec précision et à délivrer un faisceau d'ions uniforme pour la pulvérisation. Il utilise également un équipement automatisé plasma-pression pour surveiller les gaz plasmatiques, le niveau de vide et l'ionisation du flux plasmatique. Le système de contrôle automatisé est capable de contrôler la pression, la vitesse de dépôt et les paramètres d'émetteur de plasma pour obtenir des résultats très reproductibles et uniformes avec une intervention manuelle minimale. En outre, l'etcher est également équipé d'un capteur de température segmenté de haute précision pour permettre l'alignement répétable des composants dans son environnement tridimensionnel. Cette unité présente également une capacité multi-gazeuse avec des chambres pour précurseur gazeux et post-plasma, ce qui est essentiel pour le dépôt de couches multiples. En outre, il dispose d'une machine intégrée de décompression thermique qui dissipe la chaleur des parties cibles, permettant une répartition plus uniforme de l'énergie, évitant tout choc thermique qui pourrait survenir en cas de changements thermiques rapides. DPS etcher est conçu pour être compatible avec la plupart des matériaux de dépôt, allant du graphène à l'aluminium. Sa stabilité thermique lui permet de gérer des températures extrêmes, ce qui le rend apte à des procédés avancés tels que le dopage et le dépôt de métaux. En outre, il dispose d'un mécanisme de sécurité serré qui comprend l'arrêt automatique en cas de conditions dangereuses. Il dispose également d'un outil de contrôle automatique de la contamination pour éviter la contamination croisée entre substrats. En conclusion, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS fournit un outil puissant et polyvalent de gravure à sec et d'ashing pour la production de microélectronique. Doté d'un outil de contrôle automatisé qui permet un dépôt précis, reproductible et uniforme des matériaux, il est l'un des graveurs automatisés les plus économiques offrant une solution fiable et rentable pour une production à haut volume.
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