Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS #9401495 à vendre en France

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS DPS (Dry Processing Equipment) est une technologie avancée de gravure et d'asher utilisée pour la gravure et l'ashing de haute précision dans les secteurs des semi-conducteurs et autres. Il est conçu pour supporter une variété de matériaux et de procédés, tels que la gravure sèche, l'intercalaire asher, le nettoyage, le traitement de surface et en vrac et le reconditionnement. Le système se compose principalement de quatre parties : le module de procédé, le module auxiliaire, le piédestal et l'unité de distribution chimique. Le module Process est le principal contributeur à la gravure et à l'ashing. Il comporte une chambre à vide horizontale qui est équipée d'un implanteur ionique et d'un papillon par lequel sont alimentés les gaz de la chambre. La puissance RF à haute fréquence est fournie à l'implanteur ionique, ce qui crée un fort champ électrique à l'intérieur de la chambre. Ceci crée un plasma à l'intérieur de la chambre, permettant d'accélérer les ions jusqu'à un niveau d'énergie désiré, qui peut alors être utilisé pour éliminer les matériaux. Le module auxiliaire contient les bobines électromagnétiques formant le champ magnétique pour le plasma, ainsi qu'une foule de capteurs de température, de pression et autres afin de surveiller et de contrôler le processus. Il sert également de source de gaz chauffés, pour fournir des motifs de gravure plus lisses. En outre, il peut comprendre un moniteur à cristaux de quartz par lots, qui sert à surveiller l'avancement de la gravure et de la cendre. Le socle est une chambre montée sur le dessus de la chambre à vide pour fournir la base des plaquettes pendant le processus. Il est également utilisé pour la visualisation des spécimens et peut être équipé de la technologie du loadlock pour permettre le chargement et le déchargement rapide et pratique des plaquettes. La machine de distribution chimique est le dernier élément de l'AMAT DPS et consiste en une série de pompes et de vannes commandées par ordinateur utilisées pour fournir les produits chimiques nécessaires à la chambre pendant le processus de gravure et de cueillette. Cela garantit un processus stable et cohérent, ainsi que la possibilité pour l'utilisateur de faire des ajustements raffinés aux paramètres du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS est un outil puissant, efficace et polyvalent pour la gravure et la cueillette de divers substrats de mesure. Ses composants sont conçus pour la précision et la fiabilité, offrant à l'utilisateur la plus grande précision dans leurs processus. Grâce à ses systèmes de contrôle sophistiqués et à sa capacité d'adaptation, DPS peut fournir des pièces gravées avec précision en quelques minutes, ce qui le rend idéal pour toute une gamme d'applications, y compris la fabrication de semi-conducteurs, la recherche de matériaux et la production de composants.