Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293587502 à vendre en France
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ID: 293587502
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Oxide etcher, 12"
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est un système avancé de gravure et de cendrage conçu pour rendre les processus de gravure et de cendrage de haute précision plus faciles et plus efficaces. La machine est un outil qui combine des systèmes de gravure et de cueillette haut de gamme, avec un processus avancé et un contrôle logiciel, en une seule plate-forme intégrée. La machine AMAT EMAX_CT+ est une solution tout-en-un pour la gravure et l'ashing de précision. Il fournit une profondeur de gravure constante et une micro-topographie de gravure uniforme, avec des options de contrôle des processus pour les paramètres de dépôt et de recette de gravure pour résister au strippage et à la gravure de particules telles que Si, GaAs et CdS. La machine est équipée d'un générateur d'impulsions inverses intégré, permettant des temps et des durées répétables pour les processus de gravure de faisceau d'ions. Sub-1µm la précision et 0 la précision de 0,05 µm en font une solution idéale pour des applications allant de simples tâches de gravure géométrique à des projets de recherche avancés nécessitant des niveaux de précision élevés. L'équipement automatisé logiciel est conçu pour réduire les coûts d'exploitation et améliorer la performance globale du processus. Diverses fonctionnalités, logiciels et contrôles ont été conçus pour s'assurer que les paramètres et processus de gravure souhaités sont maintenus même avec des substrats difficiles et sensibles. Le panneau de façade convivial offre un accès facile aux recettes, aux paramètres, aux conditions de fonctionnement, aux alarmes et aux statistiques de processus. L'assistant de configuration et les diagnostics intégrés simplifient encore le fonctionnement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS E-MAX CT + a une chambre fermée avec des caractéristiques de sécurité avancées qui minimisent l'exposition du personnel aux particules et aux vapeurs. Il est conçu pour répondre à des exigences strictes en matière de sécurité et d'exploitation. En outre, la gravure est réalisée selon les techniques d'isolation des bords, de mode tension et de paramètres stabilisés par logiciel, assurant des résultats de processus optimisés. Les procédures d'entretien et d'entretien sont rapides et faciles, car l'intervention de l'utilisateur n'est nécessaire que pour le remplacement périodique du revêtement intérieur de la chambre de gravure. E-MAX CT + automatise l'assemblage et le test des chambres de processus avant chaque session de gravure, réduisant le temps de mise en place du système tout en assurant précision et fiabilité. En résumé, AMAT/APPLIED MATERIALS E-MAX CT + etching- and ashing- system est une solution idéale pour les processus de gravure et d'ashing exigeant une précision inférieure à 1 µm, des résultats reproductibles et un contrôle maximal des processus. Le générateur d'impulsions inverses intégré, les commandes de processus et la facilité d'installation et de maintenance font de cette machine un outil indispensable pour l'graveur avancé.
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