Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #293753868 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est un équipement de graveur/asher conçu pour une haute fiabilité et des températures de processus allant jusqu'à 512 ° C Il a intégré la puissance RF, la pression et le contrôle de la température pour les modes de gravure et de cendres et une grande uniformité. Le système est optimisé pour un taux de gravure élevé et pour minimiser les dommages aux substrats. L'unité est équipée d'un mandrin mobile de haute précision qui assure un positionnement et un balayage précis lors de la gravure ou de la cendre. Cela aide à atteindre une uniformité de processus supérieure. Il dispose également d'un générateur RF qui fournit une puissance et une stabilité supérieures. Cela aide à atteindre un taux de gravure élevé ainsi qu'une bonne sélectivité pour diverses applications de gravure de matériaux. La machine est alimentée par le contrôleur SABRE. Ce contrôleur haute performance est conçu pour fournir une programmation précise et fiable, un contrôle précis de la pression et de la température, et une interface de machine humaine (HMI) facile à utiliser. Il fournit également en temps réel la surveillance des processus statistiques, la reconnaissance automatique des échantillons et les capacités d'optimisation des recettes. L'outil offre également une large gamme de fonctionnalités conçues pour optimiser le processus de gravure et d'ashing. Il fournit des profils de gravure sélectionnables, tels que la gravure à vitesse constante, des profils p-t linéaires ou programmables, et des modes de masque sélectionnables. L'actif supporte également la détection de température et le contrôle du taux de gravure pour une stabilité optimale du processus. Le modèle avancé de régulation de la température en boucle fermée assure une température très uniforme sur tout le substrat. En outre, l'équipement offre des caractéristiques diagnostiques sophistiquées, telles que la surveillance des processus, la détection du mouvement des gaz dans les chambres et l'analyse avancée des contraintes du substrat. Il comprend également des emboîtements de sécurité avancés qui aident à assurer un fonctionnement sûr même en cas d'excursions de processus inattendues. Dans l'ensemble, AMAT EMAX_CT+ est un système de graveur/asher avancé qui offre une stabilité, une uniformité, une sélectivité et une fiabilité exceptionnelles. C'est un excellent choix pour graver et aspirer un large éventail de matériaux.