Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9189026 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est une solution de gravure sèche et asher de précision conçue pour fournir des résultats précis dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Ce puissant système intégré de gravure sèche et asher est doté d'un processus plasma avancé et d'une automatisation du transfert des plaquettes, qui permettent d'augmenter la productivité et d'améliorer l'uniformité. Le système utilise un procédé plasma révolutionnaire qui combine des références basse pression, haute puissance et champ magnétique dans une seule chambre. Ceci offre une combinaison unique d'une plus grande sélectivité de gravure, une excellente uniformité et un débit plus élevé. Le transfert automatisé de plaquettes assure alors que chaque plaquette est placée avec précision dans la chambre de gravure et, avec l'ajout de plusieurs étapes, assure que les processus de gravure et d'ashing sont complétés avec un contrôle précis à la fois du temps de gravure total et de la répétabilité des gravures. De plus, les modules intégrés en boucle fermée offrent un niveau d'automatisation et de flexibilité qui fait d'AMAT EMAX_CT+ la solution idéale pour la fabrication et le traitement rapides de divers matériaux durs dans l'industrie des semi-conducteurs. En utilisant les modules en boucle fermée, les paramètres de gravure tels que la pression, la polarisation et la puissance peuvent être réglés automatiquement sur les critères de performance désirés. Ceci donne des résultats cohérents, peu importe la température de la chambre ou le nombre de plaquettes en cours de traitement. De plus, les chambres sont conçues pour maintenir une homogénéité même lors du traitement de différentes tailles de plaquettes, assurant ainsi un rendement et une répétabilité élevés. Les outils de visualisation et d'optimisation intégrés font des MATÉRIAUX APPLIQUÉS E-MAX CT + la solution de gravure sèche et asher la plus précise sur le marché. Les diagnostics basés sur la plate-forme au sein de l'unité de contrôle permettent une surveillance en temps réel de la sélectivité des gravures et des températures des plaquettes. Cela signifie que tout problème lié aux paramètres du processus plasmatique peut être rapidement et précisément identifié et corrigé. De plus, des outils d'analyse intégrés tels que l'analyse de Monte Carlo et la simulation en deux dimensions fournissent aux opérateurs une analyse détaillée du système afin que les conditions de performance les plus optimales puissent être identifiées rapidement et avec une intervention minimale de l'opérateur. Avec sa combinaison de techniques avancées de traitement du plasma, de transfert automatisé de plaquettes et d'outils intégrés de diagnostic et d'optimisation, AMAT E-MAX CT + est le choix ultime pour des processus de gravure et d'ashing précis dans l'industrie des semi-conducteurs.
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