Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9193737 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est un graveur/asher de haute performance utilisé pour divers procédés semi-conducteurs. L'équipement utilise une technologie de gravure et de cendrage à double fréquence à haut rendement pour améliorer la sélectivité, l'uniformité des processus et le faible coût de propriété. Le CT + est équipé d'un système de contrôle optique avancé basé sur Interca-TM pour un contrôle précis de la tranche à la tranche et permet une large gamme de paramètres de gravure. AMAT EMAX_CT+ asher est capable de graver des substrats cibles entre 25 et 200mm. Il a une large gamme de capacités, y compris haute pression, basse pression, et ashing à pression variable, ashing thermique, et gravure. Son unité d'auto-réglage optimise rapidement la condition du processus d'ashing pour un processus donné. Le CT + est capable d'obtenir des taux de gravure plus rapides que d'autres systèmes similaires, ce qui, combiné à sa faible empreinte, en fait un choix idéal pour le traitement des plaquettes à haut volume. La machine est enfermée dans un boîtier compatible salle blanche de classe 10 et utilise un boîtier pompé à haut débit pour garder les produits nocifs loin de l'opérateur. Ses postes de traitement sont montés sur un bras robotique compatible salle blanche, et les entrées de l'outil comprennent des broches de levage des plaquettes, des broches d'entraînement, le traitement des masques et des configurations réglables des buses. La plaque chaude programmable permet un contrôle précis de l'arrêt de la gravure et la stabilité de la température de cendre. L'apport de gaz CF4 de l'actif est contrôlé et surveillé afin de maintenir des conditions de processus optimales. MATÉRIAUX APPLIQUÉS E-MAX CT + est adapté à un large éventail d'applications, y compris la gravure des semi-conducteurs, le décapage des photorésistances, l'exposition aux masques et aux photorésistances, l'ashing, le nettoyage et l'oxydation. Il peut être utilisé pour le recuit et l'activation, le dépôt et la gravure des métaux, les traitements post-plasma et le dépôt en couches minces. Le modèle fonctionne avec une faible consommation d'énergie et génère un minimum de déchets pour une solution rentable et respectueuse de l'environnement. Sa petite taille et sa grande efficacité en font un choix idéal pour le traitement des plaquettes à grand volume.