Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9235112 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + Etcher/Asher est une plate-forme avancée de gravure et de nettoyage conçue pour répondre à une grande variété d'exigences de gravure et de nettoyage dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement est équipé de la technologie de gravure plasma la plus récente, fournissant une solution efficace pour les trous à haut rapport d'aspect, les tranchées peu profondes, et les parois latérales. Le système est capable de traiter une grande variété de tailles et de types de chambres, permettant la gravure de grandes et de petites plaquettes. L'unité utilise une alimentation haute fréquence avec une technologie à faible contrainte pour garantir des profils de gravure de haute qualité. La plate-forme entièrement chargée a la capacité de traiter jusqu'à six grandes plaquettes simultanément avec une seule machine cathodique. Il a un contrôle de la température sur l'ensemble du bassin de la plaquette, y compris la température réglable et la distribution RF pour un meilleur contrôle du processus. AMAT EMAX_CT+ est équipé d'un HMI intuitif qui permet à l'opérateur de personnaliser les recettes préprogrammées et de paramétrer les gaz de traitement et le temps, la pression, la température et d'autres paramètres de sortie. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'outil E-MAX CT + est parfait pour des applications telles que la gravure SiO2 pour l'emballage MEMS, la galette et les couches Passivation. Il convient également pour les procédés d'élimination des résidus post-gravure, tels que le nettoyage humide ou à sec. L'actif est conçu pour être robuste et plus fiable que les systèmes traditionnels, ce qui en fait une plate-forme idéale pour les cycles de qualité de production. EMAX_CT+ modèle est alimenté par des caractéristiques avancées de sécurité, d'efficacité et de contrôle. Il est équipé de reconnaissance automatique des grains, ce qui réduit l'aspect de la marque du grain. Il dispose de capacités intégrées d'alarme de gaz qui détecte et surveille l'utilisation anormale du gaz et la pression du réservoir. Une fonction d'auto-inspection permet un auto-test périodique automatique, permettant une meilleure gestion de l'équipement. Le système est également équipé d'un moniteur de débit de gaz et de surveillance de la consommation de gaz, ce qui réduit la consommation de gaz. Cela, associé à un entretien facile et des pièces échangeables réduit le temps et le coût. E-MAX CT + est une solution idéale pour les applications de gravure et de nettoyage de précision. Il fournit des profils de gravure et un contrôle de processus exceptionnels pour une large gamme de plaquettes et d'applications. Le design robuste, le HMI intuitif, les fonctions de sécurité et de contrôle avancées et les pièces échangeables font des MATÉRIAUX APPLIQUÉS EMAX_CT+ un graveur/asher idéal pour la production de semi-conducteurs et la recherche.