Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9271007 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + Asher est un équipement de traitement monobloc pour les applications de gravure et de cendrage. Ce système est capable de fournir le plus haut débit et la plus haute productivité dans l'industrie, permettant aux clients de répondre à des exigences de rendement sans cesse croissantes et de réduire les coûts. AMAT EMAX_CT+ est idéal pour une production de faible à moyen volume et offre une large gamme de capacités de produit, telles que la gravure de haute précision, la gravure de structures complexes à haut rapport d'aspect, et offrant une excellente sélectivité entre l'aluminium et le silicium. MATÉRIAUX APPLIQUÉS E-MAX CT + exploite l'architecture Advanced Chilling Technology (ACT), une organisation de chauffage-refroidisseur à haut débit de précision qui permet un contrôle rapide des processus et des caractéristiques thermiques. Cette architecture exclusive assure une répartition thermique efficace et uniforme entre les plaquettes et entre les matrices sur une seule plaquette. Il permet une configuration rapide et une excellente capacité de contrôle et de réglage des processus. L'unité en boucle fermée et le contrôleur de processus sont étroitement connectés et permettent la surveillance et le réglage en temps réel des paramètres de recette sans interrompre le traitement des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS eMax CT + est capable d'effectuer une gravure de haute précision des diélectriques de dimensions inférieures au micron (< 0,5 μ m). Son programme de processus personnalisable permet une optimisation fine du processus de gravure pour un contrôle précis de l'épaisseur de la couche, un paramètre crucial dans la fiabilité du dispositif. Des plages de température élevées (jusqu'à 300 ° C) permettent la gravure d'oxydes résistants à haute température, tels que les nitrures PECVD, et une grande sélectivité entre le métal et le SiO₂. AMAT eMax CT + offre un choix de trois technologies de détection terminale, dont la réflectance UV, la pyrométrie et les mesures de fluorescence. Cela permet aux clients de choisir la meilleure technique de détection pour leur architecture d'appareil. Par exemple, la détection du point d'extrémité Pyrometry est idéale pour un rapport d'aspect élevé via des structures où un haut degré de résolution est nécessaire au bas de la structure. La détection d'endpoint Fluorescence est idéale pour la gravure intégrale de grandes structures, tandis que la détection d'endpoint UV Reflectance est idéale pour la gravure en couches minces. APPLIED MATERIALS EMAX_CT+ est une plate-forme idéale pour les applications de gravure et de cendrage. La technologie unique Dual Process Chamber offre le meilleur des deux mondes : une chambre de gravure sèche pour la formation précise des caractéristiques et une chambre de gravure propre pour l'enlèvement rapide des matériaux, aidant les clients à réduire les temps de cycle et à améliorer les rendements des processus. En outre, la machine intégrée de mélange de gaz aide les clients à réduire le coût de possession et à améliorer le temps de disponibilité en optimisant le débit de gaz, la pression et la livraison de gaz avec une intervention manuelle minimale. En résumé, AMAT E-MAX CT + est un outil de traitement monobloc très fiable, efficace et précis pour les applications de gravure et d'ashing. Son architecture Advanced Chilling Technology (ACT), sa gamme de gravures à haute température, ses programmes de processus personnalisables et ses technologies optionnelles de détection d'endpoint en font le choix idéal pour les clients qui cherchent à maximiser la productivité, la précision et la fiabilité.