Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9314602 à vendre en France
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ID: 9314602
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
System, 12"
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est un équipement de graveur/asher utilisé pour modifier la topographie d'une gamme de substrats afin de créer une finition de surface désirée. Le système est bien adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et est souvent utilisé dans le traitement arrière des circuits intégrés. AMAT EMAX_CT + peut être utilisé pour graver à l'eau forte ou les couches différentes asher dans la topographie d'un substrate, en incluant de l'aluminium, un titane, du cuivre et du silicium. Il peut effectuer une variété de processus de gravure/ashing, tels que la gravure sèche ou humide, la bande humide, la gravure ionique réactive profonde (DRIE) et la gravure électrochimique (ECE). L'unité offre également un outil de gravure/ashing supplémentaire qui permet un contrôle précis des paramètres du processus, tels que le temps de gravure et la température. MATÉRIAUX APPLIQUÉS E-MAX CT + est équipé d'une machine de détection de point d'extrémité (EPD) à trois étages. Cet outil surveille la résistivité et l'épaisseur de couche du substrat lors de la gravure/cueillette. Grâce à l'atout EPD, il est possible de prédire avec précision le point final d'un processus et ainsi s'assurer que la finition de surface souhaitée est atteinte. De plus, le modèle permet de multiples opérations de gravure/ashing sur le même substrat sans qu'il soit nécessaire de redéfinir les paramètres de l'équipement EPD. E-MAX CT + est un système grand et fiable qui offre d'excellentes performances et des résultats précis. Il a la capacité de graver avec précision des plaquettes de cendres de tailles allant jusqu'à 300mm, et peut exécuter des processus de gravure/cendrage dans une atmosphère contrôlée. En outre, l'unité est équipée d'une machine de chargement et de déchargement entièrement automatisée, ainsi que d'une gamme de fonctions de surveillance et de contrôle des processus, telles que l'enregistrement des données, la cartographie des processus et la gestion des recettes. Grâce à ses fonctionnalités avancées, AMAT eMax CT + est un outil de gravure/asher idéal pour les industries qui nécessitent précision, rapidité et précision dans leur traitement des substrats. En outre, l'outil est facile à utiliser et à entretenir, et est soutenu par un support technique complet AMAT.
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