Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS eMax CT+ #9390469 à vendre en France
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ID: 9390469
Taille de la plaquette: 12"
Oxide etcher, 12"
(3) Chambers (A, B, C)
MF Platform type: AP
FI (EFEM):
SUPERMICRO GEN3 0090-06587 Servers
EATON Powerware 5115 UPS
MKS MACRONODE 0190-22543 (FI Ethernet digital I/O)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Keyboard Video Mouse (KVM)
D-LINK 0190-39904 Ethernet switch hub
AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22545 Sealevel
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25273 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25274 Fast Data Gateways (FTG)
AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-06516 Short flex controller assy
SST DNET Scanner B/D Short flex controller assy
MEI XMP B/D
SBS Serial B/D
GE SBC B/D
(2) TAKEX SS20-TR40 Light curtains
(3) TDK TAS300 Load ports
(3) HERMOS TLG-RS232 RFIDs
YASKAWA XU-RCM6841 ATM Robot
YASKAWA XU-ACP4860 Aligner
YASKAWA XU-ACL4230 Track
YASKAWA XU-CN1170A Robot controller
WATLOW 96 Gas panel temperature controller
AMAT / APPLIED MATERIALS Light tower
AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-81205 Intake plenum enclosure
MF Platform:
Type: 5.3 FI
NSK VHP TM Robot
NSK ELA-B014CFL-03 TM Robot controller
ALCATEL A100L I-Pump
MKS 124AA-00010BB TM Baratron gauge
GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron TM Vacuum gauge
(2) GRANVILLE-PHILLIPS 275 Mini-Convectron Load lock vacuum gauges
(2) PANASONIC MQDB011AAD03 Load lock indexer controllers
(2) Load lock diffusers
TM Diffuser
(2) Load lock vent valves
MKS 640 Auto Pressure Controller (APC)
Slit valve
Modular DNET IO Controllers (MDI)
Chamber A, B and C:
(3) TENTA Water leak detector B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) AMAT Interlock B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) MKS Quad serial B/D Chamber Control Modules (CCM)
(6) TENTA Digital I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) MKS Analog I/O B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SBS IP Carrier B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) SST Devicenet scanner B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA SBC B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) TENTA Power supply B/D Chamber Control Modules (CCM)
(3) Shower heads
(3) Chamber liners
(3) Cathode liners
(3) Slit liner doors
(3) MAG Drivers
(3) ESC High Voltage Modules (HVM)
(3) Throttling gate valves
(3) Embedded endpoints
(3) Ceramic pucks
(6) HE Controllers
(3) Vacuum gauges
(3) Vacuum switches
(3) Pumps
(3) ISO Valves
(3) RF Generators and match box.
AMAT/APPLIED MATERIALS eMax CT + est un graveur/asher puissant et moderne pour divers matériaux dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un traitement rentable, polyvalent et fiable pour les processus de gravure et d'ashing des plaquettes. L'équipement se compose d'une unité de contrôle contenant tous les composants nécessaires pour gérer les recettes de traitement, le balayage et la manutention des plaquettes, et d'une chambre de processus avec un environnement vide fermé. Le système dispose également d'un bras robotique haute performance pour transférer les plaquettes dans et hors de l'environnement ultra-cryo de haute pureté. AMAT EMAX_CT + est employé dans de nombreux pas de processus dans la fabrication d'appareils de semi-conducteur et est capable de manipuler des configurations de chambre différentes pour la gravure à l'eau forte et ashing. L'unité peut atteindre des taux de gravure élevés et a une homogénéité supérieure. En outre, la machine dispose d'une chambre de procédé avec pression réglable pour la gravure, et d'un tube de procédé en quartz avec gaz de purge pour l'ashing. Il est également équipé d'un régulateur de température, permettant un contrôle précis et uniforme de la température lors du traitement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'outil E-MAX CT + est capable de traiter les processus de gravure et de cueillette d'une seule plaquette, lui permettant de graver et de cacher simultanément plusieurs plaquettes avec un minimum d'entretien. De plus, l'actif utilise un procédé de gravure diélectrique à l'oxygène pour réduire le nombre de particules générées par le procédé et minimiser les dommages de surface. En outre, il est équipé de dispositifs de sécurité de haut niveau pour protéger l'environnement des procédés et les opérateurs contre les produits chimiques ou les particules potentiellement dangereux. AMAT eMax CT + propose également un logiciel complet pour contrôler, gérer et surveiller les opérations du modèle. Il dispose d'une interface d'écran tactile intuitive et facile à utiliser, ainsi que d'un éditeur de recettes intégré pour la création rapide de recettes. Le logiciel comprend également des diagnostics avancés, permettant aux utilisateurs de résoudre rapidement les problèmes. En conclusion, EMAX_CT+ est un équipement graveur/asher très fiable et efficace pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de traiter plusieurs processus de gravure et d'ashing en une seule fois, avec un débit et une uniformité supérieurs. Le logiciel intégré offre une gestion facile des recettes et des diagnostics avancés, permettant un dépannage rapide.
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