Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS EMAX #9133082 à vendre en France
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ID: 9133082
Dry Etchs, 8"
JMF
Application: oxide etch
Chamber Type/ Location
System Configuration BASE
Position A Oxide Main Etch
Position B Oxide Main Etch
Position C Oxide Main Etch
Position F ORIENTER
Position A Configuration Oxide Main Etch
Position B Configuration Oxide Main Etch
Position C Configuration Oxide Main Etch
System Safety Equipment
EMO Switch Type TURN TO RELEASE EMO ETI COMPLIANT
EMO Guard Ring INCLUDED
Smoke Detector At MF No Skin YES
Smoke Detector At Gen Rack YES
Smoke Detector At AC Rack YES
Water and Smoke Detector ALARM
System Labels ENGLISH
CHA - CHA - OXIDE
EMAX Process Kit USED
EMAX Oxide Turbo Pump Acatel 1600
Emission Endpoint Type Monocro
EMAX Oxide ESC USED Flat
EMAX Oxide BIAS RF GEN OEM-28B
EMAX Oxide Throttle Dual Butter fly
EMAX Oxide Gate Valve Pendlum
CHB - CHB - OXIDE
EMAX Process Kit USED
EMAX Oxide Turbo Pump Acatel 1600
Emission Endpoint Type Monocro
EMAX Oxide ESC USED Flat
EMAX Oxide BIAS RF GEN OEM-28B
EMAX Oxide Throttle Dual Butter fly
EMAX Oxide Gate Valve Pendlum
CHC - CHC - OXIDE
EMAX Process Kit USED
EMAX Oxide Turbo Pump Acatel 1600
Emission Endpoint Type Monocro
EMAX Oxide ESC USED Flat
EMAX Oxide BIAS RF GEN OEM-28B
EMAX Oxide Throttle Dual Butter fly
EMAX Oxide Gate Valve Pendlum
Gas Delivery Options
Pallet Options
Valve Fujikin
Regulator Fujikin
MFC Type AREA FC-780C
Gas Panel Pallet A Gas Panel Pallet A
Gas Line Requirement
Pallet Pallet
Gas Line Configuration
Pallet Corrosive Gas Line Qty 3
Pallet Inert Gas Line Qty 5
Filter Qty 8
Gas Panel Pallet B Gas Panel Pallet B
Gas Line Requirement
Pallet Pallet
Gas Line Configuration
Pallet Corrosive Gas Line Qty 3
Pallet Inert Gas Line Qty 5
Filter Qty 8
Gas Panel Pallet C Gas Panel Pallet C
Gas Line Requirement
Pallet Pallet
Gas Line Configuration
Pallet Corrosive Gas Line Qty 3
Pallet Inert Gas Line Qty 5
Filter Qty 8
Gas Panel Features Gas Panel Features
Gas Panel Features
Gas Panel Controller VME I
Mainframe
General Mainframe Options
Facilities Type REGULATED
Facilities Orientation MAINFRAME FACILITIES BACK CONNECTION
Loadlock/Cassette Options
Loadlock Type NBLL W/ AUTO-ROTATION
Loadlock Cover Finish ANTI-STATIC PAINTED
Loadlock Slit Valve Oring Type VITON
Wafer Mapping STD
Wafer Out of Cassette Sensor YES
Cassette Present Sensor YES
Transfer Chamber Options
Transfer Ch Manual Lid Hoist YES
Robot Type CENTURA HP+ ROBOT
Wafer On Blade Detector BASIC
Loadlock Vent BOTTOM VENT
Front Panel
Front Panel ANTI-STATIC PAINTED
Signal Light Tower 4 COLOR SIGNAL LIGHT TOWER INCLUDING RED LIGHT
4 Color Signal Light Tower Configuration
Top Light Color RED
Second Light Color YELLOW
Third Light Color GREEN
Fourth Light Color BLUE
Signal Light Tower Buzzer ENABLED
Second Signal Light Tower YES
Remote
System Controller
Controller Type 86 INCH COMMON CONTROLLER
Cntrlr Electrical Interface BOTTOM FEED
Controller Exhaust TOP EXHAUST
Controller Cover Option YES
System Monitors
System Monitor 2 TTW / different cable lengths
Monitor Cursor 2 BLINKING CURSOR
AC Rack
GFI 30mAMP
AC Rack Types 84 INCH SLIM AC GEN RACK
Exhaust Collar 84 INCH SLIM RACK EXHAUST COLLAR
Umbilical
Ctrlr to Mainframe Umbilical 25Ft
HX Control Cable Length 50Ft
Heat Exchanger Hose Length 65Ft
Pump Cable Length 65Ft
RF Generator Cable 65Ft
Pump Interface Only
Pump Interface Qty Interface Only
AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX est un graveur/asher de premier plan de l'industrie conçu pour le procédé de dépôt de permalliage à gravure profonde et à gravure peu profonde. C'est un équipement robuste et fiable qui offre une précision et des performances supérieures pour le processus de gravure/cendres. Grâce à sa grande flexibilité et à son contrôle de précision, AMAT EMAX est une solution idéale pour le dépôt de permalliage de gravure profonde et peu profonde. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le système EMAX de gravure/cendres utilise une source à double axe contrôlée par le champ magnétique pour contrôler avec précision l'application du matériau de procédé exposé. La source applique le matériau de procédé sur le substrat tandis que le substrat est maintenu fermement contre la tête de source EMAX, empêchant le glissement pendant le processus de gravure. Cela garantit une application précise et uniforme du matériau de procédé. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX unit dispose d'un logiciel intégré qui permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres de processus pour correspondre au mieux aux résultats souhaités. Le logiciel fournit également des données en temps réel et des commentaires sur l'état du processus de gravure/cendres, ce qui aide les utilisateurs à détecter toute irrégularité dans le processus. La machine de gravure/cendres AMAT EMAX utilise un procédé de gravure chimique pour créer des ouvertures, des motifs et des formes de faible diamètre. La gravure chimique crée une profondeur de gravure uniforme qui offre une qualité et une répétabilité supérieures. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'outil EMAX dispose également d'une pile de sources linéaires multi-têtes, qui permet aux utilisateurs de programmer différentes profondeurs de gravure pour différents matériaux. Cela aide les utilisateurs à créer des profondeurs de gravure uniformes pour une grande variété de substrats et d'applications. EMAX etch/ash asset est livré avec une variété de fonctionnalités de sécurité avancées, y compris l'arrêt d'urgence automatique et la détection de contour pour protéger l'opérateur contre les opérations dangereuses. AMAT/APPLIED MATERIALS EMAX model dispose également de détecteurs de particules en ligne qui aident les utilisateurs à inspecter les dépôts, débris et inclusions. Cela aide à empêcher les dépôts inacceptables d'entrer dans le flux de processus. L'équipement AMAT EMAX est également conçu pour faciliter l'entretien et le service rapide et facile. Il offre un accès rapide aux modules du système et permet aux utilisateurs d'effectuer facilement des modifications et une maintenance préventive. L'interface facile à utiliser aide les utilisateurs à identifier et à résoudre tous les problèmes, leur permettant de maintenir leur unité EMAX MATÉRIAUX APPLIQUÉS à des niveaux optimaux. En conclusion, EMAX machine de gravure/cendres offre des performances exceptionnelles et la flexibilité pour les applications de gravure et de gravure/cendres. Ses caractéristiques de sécurité intégrées et sa facilité d'entretien en font un choix idéal pour toutes les exigences de traitement des gravures. Avec son logiciel avancé et son contrôle précis, l'outil EMAX AMAT/APPLIED MATERIALS permet aux utilisateurs de personnaliser leurs paramètres de processus pour une performance et une précision maximales.
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