Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293589575 à vendre en France
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AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme facilitatrice E2 est un équipement avancé de traitement des gravures/cendres. Il est utilisé pour des applications difficiles de gravure et de cendres et se compose de deux chambres indépendantes pour une meilleure flexibilité. La première chambre sert de graveur et la seconde de cendrier. Les chambres peuvent être configurées et exploitées de manière indépendante, ce qui les rend aptes à être utilisées en tandem. La chambre comporte un loadlock, qui est utilisé pour transférer des plaquettes dans et hors de la chambre, permettant leur traitement en lot. Il dispose également d'un système de vide intégré qui assure des conditions de traitement cohérentes et reproductibles. La plateforme AMAT Facilitler E2 est conçue pour fournir des niveaux élevés de contrôle des processus, ce qui aide à obtenir des résultats reproductibles. Il utilise de multiples outils pour surveiller les conditions de processus telles que la température, la pression et la puissance RF, ainsi qu'un ensemble complet de systèmes de contrôle de chambre tels que la pression, la température et le contrôle RPM. Ceci permet d'assurer la vitesse et l'uniformité d'enlèvement des matériaux. L'unité est conçue pour diverses applications, telles que la gravure du cuivre, la gravure du silicium et la gravure des plaquettes. Il fonctionne également avec divers matériaux, tels que le silicium, le germanium et les matériaux diélectriques à bas k. La plate-forme offre une uniformité de gravure exceptionnelle pour des applications exigeantes telles que la gravure à haut rapport d'aspect, la gravure à tranchées profondes et la gravure sélective. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La plate-forme facilitatrice E2 est facile à utiliser et à entretenir, avec tous les paramètres de processus facilement réglables depuis le panneau avant, ainsi que les données automatiquement affichées sur un écran LCD haute résolution. La machine dispose d'une variété de caractéristiques de sécurité intégrées et de protections, y compris des contrôles thermocouple et des capteurs de température, la surveillance en ligne des particules et la distribution de gaz en boucle étroite. En conclusion, la plate-forme Facilitler E2 est un outil avancé de traitement des gravures/cendres conçu pour fournir des niveaux élevés de contrôle des processus et d'uniformité. Il convient à la fois pour la gravure et la cendre d'une grande variété de matériaux, avec de nombreuses caractéristiques assurant des résultats fiables et cohérents.
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