Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #293819967 à vendre en France
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ID: 293819967
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Equipment front end module (EFEM)
Vacuum Handling Platform (VHP)
(3) Load ports
(3) GHW50A
(3) B5002
ATM.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le facilitateur E2 est un graveur et aspirateur avancé spécialement conçu pour l'industrie de la microélectronique. AMAT Facilitler E2 fournit une précision de pointe avec sa chambre de processus équilibrée par inversion et sa géométrie de gravure à double secteur. Cela permet un débit plus élevé avec une uniformité de gravure réglable sur la taille de l'ensemble matériel et masque, permettant un traitement microélectronique de haute fidélité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le facilitateur E2 est doté d'une géométrie de gravure verticale puissante et d'une chambre de processus haute capacité avec régulation de température en option. Cela permet une gravure extrêmement précise d'une grande variété de matériaux dont SiO2 et SiNx. La flexibilité du facilitateur E2 permet de modeler avec une grande fidélité les matériaux transformés. Il peut être utilisé pour modéliser une gamme complète de matériaux et d'épaisseurs de substrat, des plaquettes ultrathines aux substrats épais de silicium sur isolant (SOI). MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Les capacités de traitement multi-zones automatisé du facilitateur E2 permettent des ensembles précis et reproductibles de processus pour produire des résultats cohérents, tout en éliminant la contamination potentielle d'autres flux de processus. Il dispose également d'une source de plasma à double source pour la gravure et le dépôt à grande vitesse, permettant une commutation plus efficace entre les étapes de gravure et de dépôt. AMAT Facilitateur E2 est un système tout-en-un pour produire de la microélectronique, ayant le potentiel de réduire la complexité de plusieurs outils nécessaires pour un processus unique. En outre, son logiciel de contrôle convivial en fait un outil polyvalent et fiable qui peut être utilisé dans une variété de situations de processus. Avec son contrôle précis, son logiciel convivial et sa commodité tout-en-un, le facilitateur E2 de matériaux appliqués est l'outil parfait pour l'industrie de la microélectronique.
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