Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Enabler E2 #9231969 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le facilitateur E2 est un cendrier/graveur complet conçu pour répondre à une variété de besoins d'ingénierie de processus. Le E2 est un équipement de haute performance et de précision fabriqué selon des normes de qualité précises pour garantir un contrôle robuste des processus et une reproductibilité précise. Il dispose d'un spectromètre embarqué haute résolution, permettant une surveillance en temps réel du processus de gravure. L'E2 fournit des résultats gravés uniformément dans une plage de résistivité extrêmement large en utilisant une combinaison de polarisation à double fréquence RF et de courant à moyenne fréquence (MF). Le système de gravure utilise une source d'énergie micro-ondes coupée pour assurer une profondeur et un profil de gravure uniformes dans toute la tranchée ou via la modulation de la puissance pour la gravure multi-profondeur ou 3D. En outre, le E2 dispose d'un graveur EDGE contrôlable individuellement avec des géométries programmables programmables pour une plus grande flexibilité de recette. D'autres caractéristiques incluent une atmosphère d'hélium entièrement intégrée et un contrôle du débit de gaz ainsi qu'un module de conditionnement plasma intégré embarqué qui surveille automatiquement les conditions plasmatiques pour garantir des résultats de gravure précis. Pour un contrôle maximal du processus, l'E2 fournit une conception à chambre unique qui élimine la contamination entre les cycles et réduit les temps de cycle. Les systèmes de sécurité intégrés pour l'E2 comprennent un générateur RF numérique intégré, ainsi qu'une unité d'interception de sécurité et un dispositif d'isolement à la masse. L'E2 dispose également d'une machine de refroidissement intégrale pour une uniformité maximale et comprend des contrôleurs de processus indépendants, des systèmes de gestion de la température des plaquettes et une boucle CDA pour une disponibilité plus rapide des outils. Pour un meilleur contrôle des processus, l'E2 offre une surveillance plasma en temps réel à l'aide du spectromètre embarqué. En combinant les dernières fonctionnalités de contrôle de processus avec des pièces usinées de précision, AMAT Facilitler E2 offre une plate-forme exceptionnelle pour les ingénieurs de processus à la recherche d'un outil fiable et reproductible pour une variété de besoins de gravure. En plus de ses fonctionnalités avancées, APPLIED MATERIALS Facilitler E2 offre une valeur exceptionnelle avec sa longue durée de vie, des temps de cycle de base rapides et un faible coût de possession.