Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM #9311364 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM est une technologie avancée de gravure/cendres qui est utilisée pour fabriquer des composants de circuits intégrés. Il est équipé de la dernière technologie d'outillage et d'automatisation de la société AMAT, permettant une gravure et une cendre de haute précision. L'équipement AMAT G5 MESA EFEM est conçu pour traiter des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 200mm et d'une longueur de 300mm. Il dispose d'un débit ultra-élevé avec des taux de passage jusqu'à 1000pcs/heure. Il fournit également plus de contrôle et de précision dans la gravure et le cendrage avec sa technologie double chambre unique permettant la précision de processus sous-um. Les systèmes de contrôle intelligents, qui offrent des recettes configurables pour différentes tailles de plaquettes, optimisent le rendement et minimisent les défauts. En outre, le système EFEM G5 MESA APPLIED MATERIALS offre une homogénéité et une productivité supérieures, avec une large gamme de solutions de gravure chimique humide, y compris les acides chlorhydriques, sulfuriques, phosphoriques et autres acides. Sa passivation humide contrôle l'oxydation et permet d'améliorer la qualité de la structure/surface des petites structures gravées ou des micro-caractéristiques. Sa capacité de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) et de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) contribue également à améliorer l'état de surface de la plaquette et la rend plus durable. L'unité G5 MESA EFEM intègre des solutions d'automatisation sophistiquées qui permettent un contrôle précis des processus lors de la fabrication. Il comprend le centrage et le chargement automatisés des plaquettes, la surveillance des processus et la gestion des recettes pour rendre les opérations de gravure et de cueillette complexes efficaces. Ses caractéristiques de sécurité garantissent la sécurité du personnel et des équipements, avec des systèmes automatisés de détection de gaz conçus pour détecter les niveaux dangereux de certains gaz toxiques tels que l'ammoniac et le chlorure d'hydrogène. Pour garantir une qualité de processus fiable, AMAT/APPLIED MATERIALS G5 MESA EFEM utilise des capteurs et des optiques de qualité industrielle pour un balayage précis des plaquettes, ainsi qu'une surveillance et un reporting de surface en temps réel qui permettent un contrôle dynamique des processus. Il comprend également un robot à six axes pour les opérations de manutention automatisée, conçu avec des dispositifs de sécurité pour protéger le personnel contre les dommages. En outre, AMAT G5 MESA EFEM s'intègre avec d'autres équipements de traitement dans une machine avancée de surveillance des processus pour un meilleur contrôle et une meilleure qualité. Son intégration flexible permet une production simplifiée et améliore l'efficacité globale de l'outil. Cet actif avancé de gravure et de cendrage est un choix idéal pour les principales lignes de production d'aujourd'hui.