Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9263764 à vendre en France
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ID: 9263764
System
(3) A-Si Process chambers
Substrate size: 1100 mm x 1300 mm
(3) Susceptors : Temperature <230°C
(3) Load locks: DSSL
Dual arm vacuum robot
(3) MKS RPSC
EDWARDS Neptune Abatement
(3) RF Generators: 40 MHz (4KW)
(3) Gas panels: NF3, Ar, N2, SiH4, H2, PH3, B2H6
J&R AUTOMATION Loader
Includes:
(2) Abatement systems
Power supply rack
Transformer
Heat exchanger
Exhaust fan module
Gas panel module / Rack
Main AC cabinet
Remote AC cabinet
(3) PECVD Process modules
Loadlock Module
Monolith module (Transfer chamber)
Robot
Robot enclosure (with misc, panels and trays)
Robot substrate storage module
Loader modules
(2) Loader controllers
Wafer cassette loader
Vacuum forelines
Piping
Seismic brackets
Pump racks
Umbilicals
Brackets
Crane adapter
Does not include:
(3) EDWARDS iXL500Q Pumps
(3) EDWARDS iXH3030 Pumps.
AMAT/APPLIED MATERIALS G5 est un outil de gravure/ashing de précision utilisé pour la fabrication et le conditionnement de semi-conducteurs. Il est conçu pour l'analyse photolithographique efficace, la gravure et le nettoyage des cendres. AMAT G5 dispose d'un design tout-en-un avec une interface utilisateur facile à utiliser et une capacité à haut débit. Il est également équipé d'une faible consommation d'énergie et de faible conception de maintenance, ainsi que d'une variété d'options de traitement personnalisables. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le G5 offre des chambres semi-standard et larges, ce qui le rend adapté à diverses exigences de gravure/ashing. Il est basé sur des sources de radiofréquence (RF) et de plasma et est capable de gravure et de nettoyage des cendres pour produire des motifs bien définis dans des couches minces de matériau diélectrique. Sa plage de fréquence variable réglable de 27-250kHz permet une gravure fiable et précise des caractéristiques de précision de niveau micron. En outre, G5 offre un débit et une uniformité de traitement supérieurs. Il dispose d'une plaquette-cassette intégrée et d'un port auto-charge intégré conçu pour assurer le transfert de plaquette est toujours réussi. Son système automatisé de manutention des plaquettes offre la flexibilité nécessaire pour déplacer les plaquettes entre différentes cassettes en moins de 10 secondes. Sa suspension de support réglable permet de traiter une large gamme de tailles de plaquettes. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 est également équipé de plusieurs fonctions de surveillance in situ qui détectent et identifient rapidement les défauts de température et de traitement. Son système de distribution de gaz de pointe assure un contrôle précis et uniforme du débit, ainsi qu'une qualité supérieure des conditions gaz-substrat. Enfin, ses capacités intégrées de sécurité et de prévention de la contamination sont améliorées grâce à son système de confinement plasma « Hot Wall » et à sa fonction « Nettoyage actif des sources de surface ». Dans l'ensemble, AMAT G5 est un outil puissant de gravure/ashing pour une production fiable de motifs précis et performants dans des couches minces de matériau. Sa capacité de traitement très efficace et sa conception technique robuste le rendent adapté à une gravure/cueillette fiable des caractéristiques de micro-taille et des temps de cycle courts. MATÉRIAUX APPLIQUÉS G5 offre également un débit de plaquettes supérieur, une uniformité de processus fiable et des réglages de pression, de température et de débit de gaz facilement réglables.
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