Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS G5 #9314557 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS G5 est un graveur/asher conçu pour fonctionner dans la gamme ultra-haute dépression pour les processus de gravure plasma. Cet outil utilise du gaz ionisé pour des applications de gravure et de cendrage, et peut être configuré pour effectuer des processus de gravure sèche et humide. La technologie de radiofréquence à couplage capacitif (RF) utilisée dans AMAT G5 lui permet de graver une variété de matériaux tels que le silicium, le germanium, le quartz et le diamant. Ce graveur-asher comprend une chambre de procédé, un équipement sous vide, un générateur RF, une alimentation, des entrées de gaz, des systèmes d'échappement et un contrôleur. La chambre de procédé est conçue pour être étanche et utilise un système de vide pour maintenir des niveaux de vide ultra-élevés pendant les opérations. Le générateur RF incorporé dans l'outil produit une puissance RF qui agit comme source d'énergie pour le processus de gravure en ionisant les molécules de gaz. De plus, le dispositif utilise une alimentation pour maintenir et contrôler la puissance RF. MATÉRIAUX APPLIQUÉS G5 peut être utilisé pour diverses applications, y compris l'enlèvement de matériaux, le nettoyage de surface et le dépôt assisté par plasma. Il est capable de graver une gamme de matériaux, y compris les semi-conducteurs, le quartz et le diamant. Cet outil supporte la gravure avec des produits chimiques tels que fluor à base de CF4, Ar/CF4, CHF3, et Ar/Cl2, avec des taux de gravure plus élevés. La capacité de gravure profonde de cet outil permet des fonctionnalités de moins de 10nm précision. Pour garantir la meilleure qualité de gravure, G5 intègre des systèmes d'isolation thermique et de refroidissement. L'outil est également conçu pour un entretien facile et peut être actionné manuellement ou programmé pour un fonctionnement automatique. De plus, cette unité utilise une machine de contrôle en boucle fermée pour contrôler la pression et la température pendant le processus de gravure. AMAT/APPLIED MATERIALS G5 est un outil de gravure et d'ashing fiable et polyvalent qui convient à une variété de procédés, y compris la fabrication de dispositifs MEMS, la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la microfluidique et la recherche sur les procédés. Il est disponible en plusieurs tailles pour répondre à différents besoins d'application et est disponible sous la forme d'un modèle de table ou d'un outil complet. Cet outil offre une répétabilité et une précision de processus élevées, ce qui en fait un choix idéal pour de nombreux processus de gravure et d'ashing avancés.