Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Gas box for Centura DPS II #9407675 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Boîte à gaz pour Centura DPS II est un graveur/asher haute performance conçu pour être utilisé avec les systèmes Centura DPS II. Il est conçu pour fournir des performances fiables et cohérentes avec un équipement de distribution de gaz filtré, chauffé et humidifié. Ceci assure une gravure précise et homogène des matériaux en couches minces sur des substrats jusqu'à 5 pouces de largeur. La boîte à gaz dispose d'un panneau de commande avancé qui permet un contrôle précis de tous les paramètres et conditions nécessaires à un processus de dépôt idéal. La boîte à gaz est conçue pour une large gamme d'applications de gravure et de cueillette, telles que la gravure d'oxyde, la gravure et la cueillette de polyimides, la gravure sélective en masse et la cueillette de motifs 2D. Il dispose d'un plateau de vide avec centrage automatique, hauteur réglable et positionnement de cantilever pour assurer une meilleure gravure et uniformité de cendrage. La boíte à gaz comporte un système d'étage chauffé et humidifié qui empêche la condensation sur le substrat ou l'optique d'alignement pas à pas. Il comprend également une unité de contrôle des gaz filtrés par procédé qui comprend des capots à gaz commandés indépendamment et un mélangeur à gaz pouvant supporter jusqu'à six gaz différents. La machine comprend également cinq ensembles de soupapes d'isolation thermique qui aident à réduire les effets de la contamination croisée. En outre, il dispose d'un bécher sans effilochage pour la rétention des gravants liquides et d'un drain de gaz pour l'élimination sûre des graveurs. La boîte à gaz AMAT pour Centura DPS II est un outil avancé de gravure et d'ashing capable de fournir des résultats précis et de haute qualité pour une variété d'applications. Il est conçu pour la facilité d'utilisation, la sécurité et la précision, avec des caractéristiques telles que la distribution de gaz filtré par procédé, l'outil d'étage chauffé et humidifié, les ensembles de soupapes d'isolation thermique et un bécher sans effilochet pour la gravure des liquides. Ceci garantit des performances fiables et cohérentes dans la gravure et le cendrage des matériaux en couches minces.