Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Hart #9225943 à vendre en France

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Hart est un équipement avancé de graveur et d'asher, conçu pour fournir une gravure précise et répétable des plaquettes semi-conductrices. Le système est capable de traiter jusqu'à quatre plaquettes de 300mm à la fois avec des capacités de gravure et de cueillette. L'unité est équipée d'un mandrin chauffant sur mesure qui assure une épaisseur prédéterminée et uniforme de la gravure/cendres déposée sur le substrat. La machine AMAT Hart utilise le procédé de gravure chimique assistée magnétiquement (MAC-Etch), qui assure une gravure précise et uniforme des plaquettes. Ce procédé utilise l'application de champs électromagnétiques intenses pour créer une gravure contrôlée et contrôlable du substrat. Grâce à ce procédé, Hart peut réaliser des applications de gravure avec une résolution inférieure à 1 nm. De plus, le procédé MAC-Etch produit des résidus de poly-grains très faibles par rapport aux procédés de gravure classiques. En outre, l'outil est capable de réaliser un dépôt spin-on-glass (SOG), procédé de gain de temps destiné à déposer une couche contenant de l'oxygène ou du silicium sur le substrat. Il s'agit d'un procédé avantageux car il conduit à une meilleure adhérence au substrat et à une meilleure homogénéité de gravure. Hart asset est également équipé d'un modèle de traitement thermique laser, qui est utilisé pour terminer le processus de gravure/cendres plus rapidement et avec moins d'étapes de processus. L'équipement de traitement thermique laser augmente la précision de gravure et de cendrage, améliore la finition du substrat et améliore l'uniformité globale du procédé. Le système est également intégré à une unité de surveillance des données qui permet de stocker et de surveiller les données recueillies sur les processus et les produits. Cela permet aux utilisateurs d'ajuster les paramètres de processus pour améliorer l'uniformité et la précision des processus. Enfin, la machine est conçue pour la facilité d'utilisation avec une interface utilisateur intuitive. Cela permet aux utilisateurs de programmer rapidement les recettes de processus et de contrôler leurs processus de gravure et d'ashing. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS L'outil Hart est un atout puissant et fiable pour la gravure des plaquettes à semi-conducteurs avec précision et rapidité.