Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS WC MCA #179308 à vendre en France
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ID: 179308
Chamber
Watercooled Chamber body
Adapter: 0040-02428
G12 Source Assy
AC Box: 0010-22242
2 Position Gate Valve
2 Phase Cryo Pump
Motorized Lift: 0010-13235
Magnet: 0010-01198.
AMAT/APPLIED MATERIALS WC MCA est une combinaison graveur/asher conçue spécifiquement pour la fabrication de plaquettes. Il est conçu pour graver et asher rapidement les matériaux sélectionnés, enlever les zones spécifiques et laisser le reste de la puce intact. Équipé d'un équipement sous vide intégré, le MCA est capable d'éliminer les particules ou les résidus indésirables pendant le processus de gravure, augmentant encore la précision et la vitesse du processus. En outre, le MCA est également équipé d'un système de gestion de l'énergie robuste pour contrôler et réguler les temps de gravure, minimiser la consommation d'énergie et maximiser le débit. Le MCA a une variété d'applications de gravure, des gravures profondes nécessitant des solutions de gravure sèche aux solutions de gravure peu profondes qui coupent des couches de matériaux spécifiques et des tranchées peu profondes. Cela permet un contrôle précis du processus, fournissant aux utilisateurs finaux des résultats de gravure efficaces et très précis. Le MCA a également une fonction de régulation de la température, permettant un contrôle précis de la température sur les solutions de gravure, éliminant les effets de l'évaporation liquide et supportant des vitesses de gravure constantes. Puissance nominale de 200 à 300 watts, cette unité de gravure/acher a une empreinte de 24 pouces par 24 pouces et une hauteur de 32 pouces. Le MCA est conçu pour être facilement intégré dans des systèmes automatisés de fabrication de plaquettes et peut être utilisé dans des configurations de processus série ou parallèle. La faible empreinte du MCA le rend parfait pour une utilisation dans des installations de fabrication plus petites et son petit facteur de forme permet de l'installer dans des espaces serrés. Le MCA dispose également de deux cassettes de plaquettes, ce qui signifie qu'il peut graver jusqu'à 30 plaquettes par lot, ce qui permet une production à haut volume. La machine de contrôle du MCA permet un contrôle précis du processus de gravure, évitant le « dépassement de gravure » causé par des paramètres de gravure incohérents. En outre, l'outil offre des capacités avancées de surveillance des processus et de collecte de données, permettant aux utilisateurs de stocker des recettes pour des processus reproductibles ou des informations de débogage pour analyse lorsque les choses tournent mal. Tout est question de précision et de débit, et AMAT WC MCA livre. Avec des solutions de gravure et d'ashing fiables et précises, une faible consommation d'énergie et un débit volumique élevé, le MCA est idéal pour les installations de fabrication de plaquettes qui cherchent à améliorer l'efficacité de la production et le rapport coût-efficacité global.
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