Occasion AMS 602 #293608576 à vendre en France

AMS 602 est un graveur ionique réactif (RIE) utilisé pour la gravure profonde et le profilage de matériaux durs. Il est conçu pour obtenir une excellente répétabilité des processus et un débit élevé. Il a un haut degré de contrôle des processus et des conditions stables, même dans les applications à haut débit. 602 est un équipement haute pression, avec une pression maximale polarisée de 1,5 Torr (1,5 × 10 − 3 mbar). Ceci garantit que le procédé est très répétable et que l'énergie ionique n'est pas altérée par les fluctuations de pression. AMS 602 est équipé de cathodes de type double anode, qui lui permettent d'atteindre un taux de gravure élevé tout en conservant un haut degré de reproductibilité du procédé. Les doubles électrodes sont capables d'assurer un contrôle indépendant du courant d'ions, des flux de gaz et de la tension de polarisation, ce qui permet de prendre en compte un large éventail de paramètres de processus lors du choix de la recette de gravure. Le système est également capable d'assurer un haut contrôle de la sélectivité et de la rugosité de la gravure. Un niveau élevé de sélectivité de gravure est important pour obtenir des profils de gravure de haute qualité, tandis qu'une rugosité de surface faible minimise la perte de matière par surgravure. 602 est capable de fournir ce niveau de contrôle par l'utilisation de recettes de gravure spécialisées et l'ajout de dopants et d'autres matériaux au gaz de gravure. AMS 602 est équipé d'une unité de refroidissement à eau intégrée, qui lui permet d'atteindre des vitesses de processus élevées. La machine de refroidissement permet également de maintenir le refroidisseur et les composants de l'outil à une température de fonctionnement sûre, garantissant un haut degré de fiabilité. L'actif de refroidissement de l'eau est conçu pour refroidir la chambre de gravure de façon rentable, optimisant ainsi la vitesse, la répétabilité et la qualité du processus. Dans l'ensemble, 602 est un graveur d'ions réactif avancé (RIE) conçu pour fournir d'excellents taux de gravure, une répétabilité de processus et d'excellents résultats lorsqu'il est utilisé pour la gravure profonde et le profilage de matériaux durs. Sa combinaison de contrôle des procédés, de taux de gravure élevés et de refroidissement fiable de l'eau assure d'excellents résultats, même dans les applications à haut débit.