Occasion ANATECH P600 #9155507 à vendre en France
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ID: 9155507
Plasma cleaner
Box chamber
Internal dimensions: 16" x 16" x 16"
(3) Shelves (Downstream)
RF Gen: 13.56 MHZ mod 600
(2) MFC Gas controls
Fomblin prepped direct drive vacuum pump.
ANATECH P600 est un graveur/asher avancé pour semi-conducteurs, circuits intégrés à couches minces et autres composants microélectroniques. Il s'agit d'un modèle monobloc qui offre des capacités de processus puissantes et polyvalentes. Ce graveur/asher a une plage de température de -150 à 300 ° C pour une fabrication rapide de caractéristiques ultra-fines avec un rapport d'aspect élevé de 1:10 ou plus. Sa chambre d'acier inoxydable a un volume de 480 litres et est équipée avec six 500W les alimentations électriques de réchauffeur pour la distribution de température uniforme. Ses éléments chauffants refroidis par ventilateur assurent un chauffage uniforme pendant le processus de cueillette. En outre, P600 etcher/asher utilise une source de plasma RF pour nettoyer et graver les surfaces de matériaux efficacement et économiquement. Ce modèle est capable d'utiliser de l'oxygène, de l'azote, de l'argon et d'autres gaz secs pour créer un environnement de processus qui répond aux exigences de l'application de gravure. Il a quatre niveaux de puissance RF allant de 0 à 500 watts, ce qui lui permet de créer des conditions de processus optimisées pour différents projets. ANATECH P600 etcher/asher dispose d'une interface LCD de 3,8 pouces qui permet à l'utilisateur de définir et d'ajuster tous les paramètres nécessaires pour une application réussie des processus de gravure et d'ashing. Cela comprend la température, la vitesse de la pompe, la puissance RF, les débits et d'autres paramètres propres au produit. De plus, les utilisateurs peuvent surveiller les niveaux de pression, de température et de vide du procédé pour s'assurer que les conditions nécessaires à la gravure et à l'ashing sont réunies. La chambre est alimentée par un détecteur de fuite qui lui permet d'effectuer des corrections avant le début du processus pour s'assurer que les conditions parfaites sont remplies. P600 etcher/asher dispose d'un système robuste de nettoyage des fenêtres qui aide à améliorer la visibilité des échantillons et à réduire la contamination. Il est également équipé d'un système de microbalance à cristaux de quartz (QCM) qui permet de surveiller les taux de dépôt des différentes étapes du processus. Le système de purge à l'azote aide à prévenir l'oxydation des échantillons, et les fenêtres refroidies à l'eau offrent une protection contre la chaleur rayonnante. Le graveur/asher est compatible avec de nombreuses sources de gaz différentes, ce qui en fait un choix approprié pour de nombreuses applications comme le laser excimère, le plasma, le dépôt anisotrope, l'énergie dirigée, etc. Sa conception respectueuse de l'environnement le rend idéal pour les laboratoires où la durabilité est d'une grande importance. ANATECH P600 etcher/asher est fiable, efficace et facile à utiliser, ce qui en fait une excellente solution pour toute application liée à la microélectronique.
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