Occasion ANATECH / TECHNICS 600-Series #9123994 à vendre en France
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ID: 9123994
Plasma system
Model SP150 quartz barrel plasma asher/desum
300W 13.56Mhz
Single gas input
Front load
Planar electrode
120V, 60Hz, 10A.
Les graveurs ou cendres ANATECH/TECHNICS 600-Series sont des systèmes d'usinage polyvalents spécialement conçus pour le processus de gravure ou de cendrage des substrats. Les systèmes ANATECH 600-Series etcher/asher offrent un maximum de performance et de flexibilité, ce qui permet une production efficace et reproductible des conceptions les plus complexes. L'équipement dispose d'un générateur RF 1200W propriétaire, chambre à plasma de quartz, des processus personnalisables, une programmation de recette rapide et facile, un contrôle basse pression, et d'autres capacités avancées. Le système TECHNICS SÉRIE 600 est capable de graver une variété de matériaux, notamment des métaux, des polymères, des verres, des semi-conducteurs et des films épais. L'unité est conçue pour les opérations de laboratoire et de production, et offre une plage de débit réglable allant jusqu'à 600 plaquettes par heure. C'est une machine Arc-Gap (AGAP) qui utilise une technologie de gap plasma « accordable » propriétaire pour offrir des performances de gravure supérieures avec une répétabilité précise. Cela élimine la nécessité d'un déplacement coûteux des plaquettes et d'un contrôle de focalisation gênant. L'outil 600 SERIES dispose également d'un logiciel intuitif basé sur console qui fournit une orientation et un contrôle intuitifs de l'opérateur. Ce logiciel est capable de contrôler les paramètres de recette, les paramètres plasmatiques, le mouvement du substrat, le contrôle de la température, les gaz et d'autres paramètres critiques du processus. Un atout de programmation flexible permet aux utilisateurs de télécharger rapidement des recettes et d'expérimenter différents paramètres pour générer les meilleurs résultats. 600-Series modèle est capable de graver et d'aspirer avec une large gamme de produits chimiques de gravure dans un environnement contrôlé et sûr. Pour les applications de gravure, l'équipement utilise un système d'injection multi-gaz automatisé qui est idéal pour améliorer la sensibilité, la précision et le contrôle. L'unité offre également une variété de nettoyants à gaz et de recombineurs qui permettent un contrôle précis de l'environnement de gravure. En plus de la gravure et de l'ashing, la machine TECHNICS 600-Series est conçue pour gérer un large éventail de processus de pulvérisation. L'outil est compatible avec une variété de cibles et de substrats de pulvérisation, tels que des alliages métalliques et des couches de silicium. Ses capacités de contrôle des processus de pulvérisation permettent aux utilisateurs d'obtenir facilement les épaisseurs et les profils de dépôt souhaités. ANATECH série 600 offre un certain nombre d'autres fonctionnalités, y compris les chambres de volume, la vision automatisée, la résolution des plaquettes sous-microns, et un modèle optionnel de cassette double four. Cet équipement de pointe est une solution clé en main complète qui maximise la productivité, la flexibilité et la reproductibilité.
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