Occasion APS / ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series #9390804 à vendre en France
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APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series est un graveur/asher avancé conçu pour un large éventail d'applications, y compris la microélectronique, l'opto-électronique, et MEMS. APS B-Series est équipé d'une variété de sources de plasma avancées qui sont utilisées pour graver les substrats avec précision et précision. SYSTÈMES PLASMA AVANCÉS La série B dispose d'une chambre à vide capable de produire et de contrôler la pression désirée du procédé, afin d'assurer un processus de gravure optimal. Le processus de gravure peut être surveillé et exécuté en temps réel à l'aide d'un générateur DC/RF intégré qui permet de contrôler précisément l'énergie de la source de plasma, pour répondre aux besoins du processus. B-Series fournit également un contrôleur de gaz unique, permettant le réglage instantané et la surveillance des paramètres de flux de gaz. APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series est chargé avec des caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité des utilisateurs et la protection de l'équipement. Ces caractéristiques comprennent : une pompe à vide centrale pour évacuer la chambre vers une atmosphère sécuritaire, et un bouton d'interruption d'urgence haute pression pour désactiver automatiquement la source de plasma pour éviter les dommages accidentels. La série B d'APS présente également une conception optimisée pour réduire toute contamination potentielle introduite par le procédé ou le procédé. Cela comprend un système anti-contamination qui injecte un faible niveau d'azote dans la chambre afin d'éviter toute contamination potentielle du substrat. ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series est conçu pour offrir des performances de gravure optimales. La source de plasma est capable de traiter finement le substrat avec une grande précision et des dommages minimes. En raison de la flexibilité de la série B, de multiples techniques de gravure peuvent être utilisées : Traitement de Surface Drywet, Pulvérisation Magnétron, et Décharge Lueur Modifiée. APS/ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series a également la capacité de réaliser les techniques RIE (Reactive-Ion-Etching) et RBO (Reactive-Bulk-Oxide-Etching). La capacité de réaliser deux techniques permet des temps de traitement plus rapides et un débit plus élevé. APS B-Series est un graveur/asher avancé conçu pour obtenir les résultats les plus précis et les plus cohérents en gravure. Les fonctionnalités avancées permettent un contrôle précis du plasme, ainsi que des dispositifs de sécurité automatisés pour prévenir la contamination. Avec sa conception flexible, ADVANCED PLASMA SYSTEMS B-Series peut être utilisé pour un large éventail d'applications. C'est la solution idéale pour une variété d'ateliers de gravure.
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