Occasion AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100 #9059485 à vendre en France
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ID: 9059485
Taille de la plaquette: 2 to 8
Style Vintage: 2012
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
ICP Power: 1000 ~ 2500 W (Option)
Bias Power: 300 ~ 600 W (Option)
Wafer Numbers / Size: (13 - 1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Plasma Density: > 1E+11 ions/cm3
Reactor Base Pressure: < 1E-6 Torr
Process Pressure Range: From 0.1 to 100 mTorr
Substrate Cooling (Option): Chiller ( 5 ~ 35℃), or (RT-150℃)
Pumping System: Turbomolecular Pump + Rotary Pump or Dry Pump (Option)
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System(Option) : Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure(Option) : < 1E-2 Torr
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 100A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20。, 25 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY CIRIE-100 est un développement innovant de la technologie de gravure et d'ashing. Ce système fournit une technologie de pointe de gravure/ashing aux entreprises ayant les exigences les plus exigeantes. Sa technologie de pointe offre des caractéristiques structurelles précises ainsi qu'une précision et une productivité accrues. AST CIRIE-100 peut graver/cendres à la fois planche et panneau en un seul passage avec son processus avancé. Il utilise une variété de gaz de procédé qui permettent des profondeurs de gravure sélectives et l'élimination des matériaux donnant des structures très précises et reproductibles. Grâce à sa conception de processus avancée, ADVANCED Unit TECHNOLOGY CIRIE-100 peut accueillir une grande variété de matériaux de planches et panneaux, y compris FR-4, Cem-3, Polyimide, Aluminium, et plus encore. La machine de réglage de hauteur motorisée CIRIE-100 permet des changements d'outils rapides et faciles avec un temps d'arrêt minimal. L'outil dispose également d'un outil avancé de contrôle de mouvement et d'entraînement avec un algorithme de numérisation à grande vitesse qui permet une résolution de fonction de gravure plus rapide. Sa conception modulaire étroitement intégrée permet une intégration polyvalente et une évolutivité adaptée aux besoins du client. AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY CIRIE-100 offre une variété de fonctionnalités et de configurations supplémentaires, y compris un équipement de recirculation intégré et une capacité de processus avancée qui est configurable pour répondre à différentes demandes de processus. Il a une interface de contrôleur conviviale et intuitive et la capacité de générer des recettes manuelles et programmables. Le système fonctionne en mode automatique, semi-automatique et manuel. AST CIRIE-100 offre également une variété de caractéristiques de sécurité avancées pour protéger l'unité contre les dommages accidentels ainsi que la sécurité de l'opérateur. Ces caractéristiques comprennent des emboîtements intégrés, la conformité de sécurité NFPA, et les capacités d'expulsion de poussière. La machine est certifiée CE et conforme à l'UL ce qui la rend sûre à utiliser dans une variété d'applications industrielles. Dans l'ensemble, ADVANCED Tool TECHNOLOGY CIRIE-100 fournit une solution de gravure/cueillette avancée qui est très fiable et efficace. Grâce aux fonctionnalités de pointe de CIRIE-100 et aux capacités avancées des processus, les utilisateurs peuvent obtenir des caractéristiques structurelles précises avec une précision et une productivité accrues.
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