Occasion AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L #9059489 à vendre en France
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ID: 9059489
Style Vintage: 2011
ICP-RIE system, 2"-8"
Specifications:
Chamber Materials: Anodized Al 6061T6
RF Power: 300 ~ 1000 W (Option)
Substrate Temperature Control: RT ~ 400℃
Wafer Numbers / Size: (30 -1) pcs / (2"- 8")
Gas Lines with MFCs: 6 Standard Lines
Reactor Base Pressure: < 1E-3 Torr
Process Pressure Range: From 50 mTorr to 10 Torr
Pumping System: Roots pump + Rotary pump or Dry pump(Option)
Load/Unload (Option): Vacuum Robot Transport
Load-Locks Pumping System (Option): Rotary Vane Pump
Load-Locks base Pressure (Option): < 1E-2 Torr
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Automatic Control System: Industrial PC with Graphic Control Interface
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Gas Inlet Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 20 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L etcher/asher est une machine de précision pour effectuer des techniques avancées de gravure et de cendrage sur des pièces métalliques. Le graveur/asher dispose d'un jet de plasma interne à basse pression, uniforme, qui peut être utilisé à la fois pour graver et asher composants dans une gamme de matériaux. AST CIRIE-100L est une machine de référence, avec une table précise et des systèmes de montage qui fournissent un positionnement précis pendant la gravure et l'ashing. Le graveur/asher est capable d'atteindre des profondeurs de gravure allant jusqu'à 0,0005 pouces et des profondeurs allant jusqu'à 0,001 pouces pour l'ashing, ainsi qu'un contrôle précis de la largeur de ligne et des déphasages réglables. ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L etcher/asher est également équipé de fonctionnalités avancées pour des performances supérieures de gravure et asher. Ces caractéristiques comprennent l'auto-décharge électrostatique, le contrôle de la forme d'onde à forte netteté, le filtrage VCV, le contrôle dynamique à haute portée (HDRC) et l'accélération du contrôle axial (ACA), conçus pour assurer une précision et une répétabilité maximales, ainsi que des profils de surface améliorés pour un enlèvement efficace des matériaux. CIRIE-100L etcher/asher est également équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels que des capteurs d'alimentation en azote sec, la surveillance des gaz et des détecteurs de fuites, pour la prévention des émissions accidentelles. Les processus de gravure et de cueillette sont tous deux contrôlés par une suite logicielle ouverte facile à utiliser qui permet à l'opérateur de surveiller le processus de gravure et de cueillette en temps réel. Avec ses mesures de sécurité avancées, sa haute précision et ses performances de gravure et de cendrage de qualité, AST/ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY CIRIE-100L etcher/asher est conçu pour être une solution fiable pour les applications avancées de gravure et de cendrage.
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