Occasion AVIZA / SPTS Omega i2L #293647178 à vendre en France
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ID: 293647178
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
ICP Etcher, 8"
ICP Chamber
ESD Chuck
ESC
ADVANCED ENERGY Paramount 1513 RF Generator, 1.5 kW
HiLight 133 RF Generator, 300 W
Spectrum view / End point detector
Gases:
BROOKS AUTOMATION MFC
N2 (Purge)
Ar
N2
O2
O2
CHF3
CF4
BCL3
CL2
Missing parts:
CU500 Chiller
Dry pump
Panels
ISOPOD Power
2007 vintage.
SPTS Omega i2L est un graveur/asher avancé conçu pour le traitement sous vide d'une gamme de matériaux. Il dispose d'un équipement de gravure puissant et flexible avec une large gamme d'options de processus, permettant aux clients de produire rapidement et de manière fiable une variété de caractéristiques complexes sur une gamme de matériaux. Le cœur du système est une puissante source de graveur à vide monobloc avec une gamme de gaz de gravure contrôlés, qui offre un degré élevé de flexibilité dans le choix des procédés de gravure. La source de gravure a une grande plage de vitesse de gravure, de 3 à 200 nm/min, et est capable d'effectuer une gravure ionique réactive (RIE), une gravure isotrope et une gravure anisotrope profonde. Il supporte une large gamme de gaz de gravure bien définis, permettant des processus de gravure adaptés au matériau cible. Omega i2L dispose également d'un asher monobloc. Cela permet aux clients de terminer les processus de gravure et d'ashing sur la même unité pour améliorer l'efficacité et la productivité. Le cendrier dispose d'une source de plasma de haute qualité et est capable d'aspirer des processus de 1000℃ à 600℃. Il dispose également d'un contrôle automatisé du débit d'oxygène, ce qui facilite le réglage des processus de cendrage en fonction du matériau cible. En plus du graveur/asher, SPTS Omega i2L comprend également une machine à vide intégrée avec une turbomachine électronique et deux pompes à rugissement, fournissant un niveau élevé de stabilité et de performance du processus. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des conditions de processus à vide élevé dans une gamme de tailles de chambre, assurant des résultats de processus optimaux. En résumé, Omega i2L est un graveur/asher avancé qui offre une large gamme d'options de processus, permettant aux clients de produire rapidement et de manière fiable des caractéristiques complexes sur une gamme de matériaux. Il comprend également un outil sous vide intégré et une gamme de processus automatisés, offrant un haut niveau de performance et de stabilité des processus. C'est le choix idéal pour une large gamme d'applications critiques de gravure et de cendrage.
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