Occasion AVIZA / SPTS Omega i2L #293771700 à vendre en France

ID: 293771700
Style Vintage: 2007
ICP Etcher 2007 vintage.
AVIZA/SPTS Omega i2L est un équipement de graveur et asher de pointe conçu pour le traitement de plasma de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil avancé est connu pour sa polyvalence et sa fiabilité en fournissant des résultats de haute qualité pour les applications de gravure et de cendrage. Au cœur du système SPTS Omega i2L se trouve sa technologie innovante de traitement du plasma, qui utilise une combinaison de gaz et de puissance RF pour créer des rejets plasmatiques pour les processus de gravure et d'ashing. L'unité dispose d'un générateur RF à double fréquence qui permet un contrôle précis de la densité du plasma et de l'énergie ionique, permettant un traitement efficace et uniforme d'une large gamme de matériaux. AVIZA Omega i2L est équipé d'une chambre à vide haute performance qui garantit un environnement de traitement propre et sans contamination. La chambre est conçue pour maintenir des conditions de processus stables et minimiser la production de particules pendant le traitement, ce qui améliore la répétabilité et le rendement du processus. En outre, la machine est équipée de capacités avancées de détection d'endpoint qui permettent une surveillance en temps réel du processus de gravure ou d'ashing, améliorant le contrôle du processus et assurant l'achèvement précis du processus. L'une des principales caractéristiques de l'outil Omega i2L est sa flexibilité dans le soutien d'une variété de processus de gravure et d'ashing. L'actif peut accueillir plusieurs tailles et matériaux de plaquettes, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Qu'il s'agisse de gravure de silicium, d'oxyde, de nitrure ou de couches métalliques, le modèle AVIZA/SPTS Omega i2L offre des capacités de traitement précises et uniformes pour répondre aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. L'interface conviviale et le contrôle logiciel de l'équipement permettent aux opérateurs d'accéder facilement aux paramètres de processus et aux outils de surveillance, facilitant ainsi une configuration et un fonctionnement efficaces. Le système SPTS Omega i2L offre également des capacités de gestion des recettes, permettant aux utilisateurs d'enregistrer et de rappeler des recettes de processus pour différents matériaux et applications, rationalisant le développement et l'optimisation des processus. En termes de performance, l'unité AVIZA Omega i2L offre des taux de gravure et de cendres élevés tout en conservant une excellente uniformité et sélectivité. L'outil avancé de distribution de gaz et les capacités de réglage RF de la machine permettent d'affiner les paramètres de processus pour obtenir un contrôle précis des profils de gravure et des taux d'enlèvement des matériaux. De plus, la conception de chambre unique de l'actif et la technologie de confinement du plasma aident à minimiser les dommages aux parois latérales et à améliorer la répétabilité des processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs critiques. Globalement, Omega i2L est un modèle de graveur et asher de pointe qui offre des capacités de traitement exceptionnelles pour diverses applications de semi-conducteurs. Sa technologie avancée de traitement du plasma, son interface conviviale et ses performances robustes en font un outil fiable pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de solutions de traitement du plasma de haute qualité et rentables.
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