Occasion AXCELIS / FUSION 200 MCU #9399673 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 200 MCU est un équipement avancé d'exposition aux ultraviolets à base de microprocesseurs utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système facilite un meilleur contrôle des processus avec un débit et une flexibilité élevés. L'unité d'exposition comprend un module d'émission hydraulique (HEM) breveté et une machine de positionnement de substrat de siège intelligent (SSSPS) qui fournit un positionnement de substrat rapide, précis et répétable. Cet outil dispose également d'un module de transport robotique (RTM) qui permet le transport de substrats multiples entre le HEM et le SSSPS. Le module d'émission hydraulique est un ensemble spécialisé de composants qui traite l'alignement du substrat, le contrôle de l'intensité lumineuse et le contrôle de la dose de l'actif. Il est capable d'émettre six colonnes focalisées de lumière ultraviolette qui assurent une exposition uniforme du substrat à la source lumineuse. Le modèle de positionnement de substrat de siège intelligent permet un alignement répétitif du substrat lors de chaque impulsion d'exposition. Son algorithme avancé exécute une boucle de rétroaction rapide et précise pour optimiser le contact entre le substrat et le masque. Ceci utilise une combinaison de capteurs de vision, de sondes laser, de réglage fin de l'axe Z et de paramètres de configuration du substrat. Le module de transport robotique simplifie le processus de manipulation du substrat en chargeant et déchargeant les substrats des systèmes HEM et SSSPS. Il permet la synchronisation du transfert d'équipement convoyeur du substrat ce qui réduit les délais entre chaque cycle du processus d'exposition. FUSION 200 MCU fournit à l'utilisateur un ensemble complet d'outils logiciels pour l'analyse des données, le contrôle des processus et l'optimisation. Il offre la capacité de stocker et d'afficher des recettes et des paramètres de processus et peut également générer des rapports avec des données d'expositions multiples. AXCELIS 200 MCU est également conçu pour une large gamme de tailles de substrat, de géométries et de matériaux. Sa conception optique avancée lui permet de s'adapter à des épaisseurs variables du matériau du substrat et à des conditions de processus changeantes. En outre, il offre une productivité maximale grâce à son meilleur rendement du cycle de vie. Dans l'ensemble, 200 MCU est un système d'exposition avancé, à haut débit et flexible qui offre à l'utilisateur un meilleur contrôle sur le processus et une efficacité accrue. Ses composants avancés et les outils logiciels fournissent à l'utilisateur un processus d'exposition optimisé, assurant un contrôle précis et l'optimisation du processus d'exposition.