Occasion AXCELIS / FUSION 300 MM #9182227 à vendre en France

AXCELIS/FUSION 300 MM etcher/asher est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour produire des motifs de métallisation gravés et cendrés de précision pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés, MEM, et l'intégration 3D. Le système est composé de deux parties : l'estcher et le cendrier. L'etcher est équipé d'une source d'ions à haute puissance à résonance cyclotron électronique (ECR) et d'une unité programmable à plusieurs faces, interne, bidirectionnelle, à balayage vectoriel, à balayage fendu, à faisceau électrostatique. Ceci permet de sélectionner une très large gamme de particules et de faire varier la profondeur du profil vertical de la gravure et l'uniformité selon les besoins de l'application. L'asher est équipé d'une source de plasma RF haute puissance, intégrée, multi-fréquence, programmable, qui assure une aspérité uniforme sur l'ensemble de la pièce, améliorant le temps de mise sur le marché pour les applications avancées de dispositifs semi-conducteurs. La machine peut manipuler des plaquettes FUSION 300 MM et est construite pour un débit élevé et une grande précision dans les processus de fabrication. Il dispose de deux douches à gaz distinctes (GSA) pour une livraison optimale du gaz. Avec un procédé à double face, la chambre peut supporter jusqu'à huit procédés, y compris la gravure, le cendrage, le dépôt de film, le nettoyage, la passivation et la fermentation. Il comprend également un scanner multicolore intégré pour la surveillance des paramètres de processus afin d'assurer une fabrication fiable des produits avec des performances optimales. AXCELIS 300 MM asher/etcher est également hautement personnalisable, permettant aux utilisateurs de sélectionner les meilleures conditions de processus pour leurs applications. Grâce à son interface logicielle, l'outil peut gérer une variété de recettes de processus. Les recettes sont gérées dans la base de données des actifs et sont consultées ou éditées à l'aide d'un affichage graphique personnalisable. Le modèle est également intégré à une console d'opérateur, offrant un moyen efficace de surveiller le processus et d'ajuster les paramètres en temps réel pour garantir les meilleurs résultats. 300 MM etcher/asher est certifié CE et SEMI sécurité, et est un outil puissant pour la fabrication de matériaux de pointe qui nécessitent des processus de gravure et de cendres complexes. Sa polyvalence et sa facilité d'utilisation en font un excellent choix pour les entreprises qui cherchent à produire des composants semi-conducteurs d'excellente qualité.