Occasion AXCELIS / FUSION ES3 #293616813 à vendre en France

AXCELIS / FUSION ES3
Fabricant
AXCELIS / FUSION
Modèle
ES3
ID: 293616813
Plasma asher.
AXCELIS/FUSION ES3 est un équipement avancé de graveur/asher conçu et fabriqué par FUSION Technologies. Il fournit une capacité avancée de gravure/cendres dans les processus de gravure/cendres humides et sèches. FUSION ES3 dispose d'un design unique à double chambre qui permet de changer rapidement et facilement une large gamme de paramètres de gravure/cendres. Il est capable d'un traitement à haut débit à des cadences allant jusqu'à 35 plaquettes par heure. AXCELIS ES3 intègre la technologie avancée EPICAL (e-Process Image-Controlled Ashing) qui permet au système de contrôler avec précision les paramètres de gravure/cendres avec un haut degré de précision sans intervention manuelle. EPICAL combine l'imagerie de plaquettes, l'optimisation des paramètres et une unité sophistiquée de contrôle des processus pour garantir une performance optimale de gravure/cendres. Cette technologie s'est avérée fournir une exécution robuste avec une excellente répétabilité, en particulier dans les applications impliquant des rapports d'aspect élevés, une épaisseur de couche élevée, et de grandes tailles de fonctionnalités. ES3 est également polyvalent en termes d'environnement d'utilisation. Il peut être configuré avec une variété de configurations de courroies, de connexions sous vide et de configurations matérielles. Cette machine est également livrée avec une grande interface tactile dynamique qui offre une expérience utilisateur intuitive et sans effort. L'écran est conçu pour une navigation facile, offrant aux opérateurs l'accès à divers processus et recettes rapidement et commodément. AXCELIS/FUSION ES3 offre également une sécurité et une efficacité énergétique exceptionnelles. L'outil est équipé d'une fonction E-Safe spécialement conçue pour surveiller et moduler automatiquement la puissance de l'actif. Cette caractéristique garantit des niveaux précis de gravure/cendres et un risque extrêmement faible de surgravure. Des mesures de protection sont également en place pour éviter la surchauffe et maintenir les performances du modèle même lors de processus à haute énergie. Enfin, FUSION ES3 est réputée pour ses robustes capacités de contrôle des processus. L'équipement dispose d'un moniteur de processus unique qui peut être utilisé pour suivre le processus de gravure/cendres, ses recettes, les données de métrologie et d'autres paramètres de processus en temps réel. AXCELIS ES3 offre également de nombreuses options pour l'analyse, le stockage et le reporting des données. Toutes ces caractéristiques font de ES3 l'un des graveurs/cendres les plus avancés sur le marché aujourd'hui.
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