Occasion AXCELIS / FUSION ES3 #293617650 à vendre en France

AXCELIS/FUSION ES3 est un asteur/graveur fiable et performant pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. L'équipement dispose d'un seul loadlock et d'un système de cassette de manutention de plaquettes de haute fiabilité pour fournir les processus de gravure et de cueillette de la plus haute définition. Cette unité utilise une machine sophistiquée de contrôle de la ligne de faisceau pour le positionnement précis de la focalisation et de l'alignement de faisceau, fournissant uniformité et contrôle de couche pour les exigences de gravure et de contrôle de la cale des appareils les plus avancés d'aujourd'hui. FUSION ES3 etcher/asher chambre est conçu pour un débit de plaquettes élevé, avec la capacité de traiter jusqu'à 30 plaquettes à la fois. Il dispose d'un temps de commutation rapide et d'un réglage fin du foyer et du faisceau pour une répétabilité supérieure. L'outil de commande de la ligne de faisceau est auto-réglable et bien adapté pour la gravure à plusieurs niveaux et le cendrage, avec le contrôle du profil convexe et concave et l'uniformité et le contrôle des bords vifs. L'actif a la capacité de graver et d'asher le verre aluminosilicate, quartz, SiC et SiG, avec des procédés standards tels que PLD, IPD, et PECVD disponibles. La chambre présente un biais de substrat isolé pour minimiser le bruit de tir, réduire l'accumulation de charges de particules et améliorer le contrôle et l'uniformité des nanomètres. Le modèle comprend également des fonctionnalités avancées telles que le contrôle de la température à chambre variable et le contrôle de l'éjection, pour garantir les modèles de gravure de la plus haute qualité. AXCELIS ES3 utilise le dernier générateur de radiofréquences de haute puissance, fournissant une sortie stable avec une adaptation capacitive à haute densité, pour des processus de gravure et de cendrage à haute performance et à haut rendement. Le générateur RF et la chambre sont conçus pour éviter les points chauds et fournir une grande homogénéité, permettant des parcours plus rapides et des rendements plus élevés. ES3 graveur/asher est conçu pour un rendement maximal, avec sa cassette de manutention de plaquettes fiable et éprouvée et ses procédés de gravure peu coûteux et uniformes. Sa suite de fonctionnalités avancées, combinée à son temps de commutation rapide et à sa commande précise du faisceau, rend cet équipement idéal pour les appareils microélectroniques les plus avancés.