Occasion AXCELIS / FUSION ES3 #293802351 à vendre en France

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher est une solution intégrée qui fournit une technologie de pointe pour la gravure de plasma, la cendre de plasma et d'autres procédés connexes. Il s'agit d'une combinaison de générateur de FUSION RF, la plate-forme renommée pour contrôler la chimie des procédés, et FUSION ES3 etcher/asher chambre. Le générateur RF AXCELIS possède des sources RF pulsées de 300 MHz pour les processus de gravure et/ou de cendres. Il dispose d'une large gamme de modes de contrôle de la puissance et du temps qui permettent un contrôle précis et l'uniformité du processus. Le générateur RF est également équipé d'un équipement de commande bi-fréquence innovant qui peut être configuré pour contrôler la puissance dans deux bandes de fréquence indépendantes. Cette fonctionnalité assure une uniformité de processus optimisée et permet au générateur de réagir rapidement à tout changement dans les conditions de processus. La chambre de graveur/asher AXCELIS ES3 est une combinaison de deux chambres de processus et d'un système de transfert intégré. La chambre de graveur dispose de processus contrôlés dans le temps et d'une grande capacité d'écoulement de gaz qui fournissent un excellent contrôle sur le processus de gravure. La chambre asher utilise une oxydation dynamique en atmosphère d'oxygène pour obtenir une élimination rapide des matières organiques sur la plaquette. Il est conçu avec un port d'expansion qui permet une flexibilité et une extensibilité futures. L'unité de transfert intégrée se compose d'un bras robot et d'une navette conçus pour assurer un débit et une productivité élevés. ES3 etcher/asher est une machine fiable et puissante qui permet des résultats cohérents et uniformes pour les processus de gravure et de cendres. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive qui le rend facile à utiliser et contribue à maximiser la productivité. L'outil de contrôle à double fréquence assure un contrôle précis du procédé et permet une gravure et un cendrage précis à faible coût. Cette solution intégrée offre aux utilisateurs une solution complète de gravure/ashing, leur fournissant tout ce qui est nécessaire pour obtenir des résultats supérieurs.