Occasion AXCELIS / FUSION ES3 #293822281 à vendre en France

AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher est un équipement avancé de gravure avec un système entièrement automatisé de manutention de substrat cassette à cassette pour plaquettes Ultratecxa™ et Accubond™. Avec son unité de transfert de plaquettes entièrement automatisée, FUSION ES3 obtient des rendements extrêmement élevés tout en offrant les niveaux les plus élevés de répétabilité et de stabilité des processus. AXCELIS ES3 obtient des débits plus élevés grâce à sa conception compatible de projecteurs à haut débit. La conception du susceptor a une géométrie de puits de l'étage supérieur avec un quatuor de configurations de fentes RS36 et RS46. Ces variables contribuent à améliorer globalement le processus de gravure, ce qui permet une plus grande élimination du matériau avec une taille des particules significativement réduite. De plus, ES3 etcher/asher fournit une correspondance supérieure par rapport au processus de gravure. Cette uniformité des taux de gravure permet un niveau de répétabilité et de contrôle plus élevé. L'uniformité de la gravure est contrôlée grâce à l'utilisation de quatre décalages d'angle et de huit capteurs de photocellules à mi-champ. Cette machine de surveillance crée un contrôle ultra-fin sur le processus de gravure totale. AXCELIS/FUSION ES3 etcher/asher est alimenté par un logiciel propriétaire de contrôle de processus. Ce logiciel assure le contrôle centralisé et la gestion des données de nombreux processus de gravure, tout en permettant l'accès des données de processus partagées par plusieurs utilisateurs. Cette plateforme permet aux clients de créer leurs propres processus ou de développer des paramètres à partir d'autres processus établis, apportant une modification et un réglage sans précédent de la chambre de gravure. FUSION ES3 etcher/asher a été conçu dans un souci de sécurité. Il est logé dans un environnement entièrement fermé sous vide, avec des portes d'accès et un orifice d'échappement amovible. L'outil de confinement est conçu pour prévenir le rejet accidentel de tout sous-produit dangereux provenant du processus de gravure, ainsi que pour protéger les travailleurs et l'équipement contre les gaz ou les matières dangereuses. Dans l'ensemble, AXCELIS ES3 graveur/asher est un actif avancé de gravure et de cueillette de semi-conducteurs à haut débit. Sa conception de susceptor est intuitive et ergonomique, permettant une plus grande répétabilité et le contrôle dans le processus de gravure. Il dispose d'un large support de processus, de caractéristiques de sécurité, et d'un modèle de commande de fonctionnement pratique qui en fait un excellent choix pour les utilisateurs à la recherche d'un équipement de gravure fiable et efficace.