Occasion AXCELIS / FUSION ES3i #293802266 à vendre en France

AXCELIS/FUSION ES3i est un équipement de graveur/asher à haut débit à double faisceau qui fournit des résultats fiables et reproductibles dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de graver et d'aspirer des matériaux à base de silicium, composé et non silicium. Il utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) pour fournir une gravure très étroite et profonde, et a également un mode de bande de résiste pour l'élimination rapide des couches de résiste et de passivation. FUSION ES3i a une architecture à double faisceau qui permet la gravure simultanée et la cueillette de deux plaquettes dans la même chambre, pour augmenter le débit. Il utilise une source de plasma RF, une source d'alimentation et un contrôleur d'énergie ionique prédictif qui élimine le besoin de détection du point final et assure une répétabilité et une précision toujours élevées. La machine utilise une interface utilisateur sophistiquée, avec le soutien de technologies intelligentes pour optimiser chaque étape du processus, ainsi que l'intégration des données de sortie dans le contrôleur d'outil hôte. AXCELIS ES3i est une plate-forme évolutive, offrant une flexibilité de processus élevée et permettant la gravure multi-plaquettes et des recettes ashing. Par exemple, il peut être configuré pour utiliser différents gaz dans une seule chambre de procédé, pour traiter des plaquettes avec PECVD chauffé et refroidi, ou pour commuter automatiquement entre deux plaquettes lorsque la première est complète. Il dispose également d'un outil de détection d'endpoint de haute précision pour la surveillance des paramètres critiques du processus, ainsi que d'une gamme d'options de maintenance préventive, y compris la surpression, la température excessive et la perte de protection contre le vide. En outre, ES3i offre des options avancées de gestion des données qui permettent aux utilisateurs de surveiller, d'examiner et de rendre compte des résultats des processus. Il est conçu pour fournir une rétroaction en temps réel, avec des alarmes automatisées en cas de déviations de processus, et la possibilité de stocker jusqu'à 30 recettes pour une utilisation future. Enfin, il est équipé d'une chambre propre à 98 %, réduisant la contamination par les particules et d'un port dédié à la connexion au gaz, ce qui simplifie la configuration, la maintenance et l'optimisation des performances.