Occasion AXCELIS / FUSION G03 #9187678 à vendre en France

Fabricant
AXCELIS / FUSION
Modèle
G03
ID: 9187678
Dual chamber asher Currently warehoused.
AXCELIS/FUSION G03 est un graveur/asher moyen de haute performance conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs avec d'excellents résultats. Cet équipement offre une flexibilité maximale de processus et des temps de fonctionnement rapides et offre un système de contrôle et de surveillance avancé pour garantir le plus haut niveau de qualité et de réactivité. Cet graveur-asher utilise une chimie à base de chlore dans une unité de gravure contenant deux diélectriques, qui peut être facilement optimisée pour les résultats souhaités. FUSION G03 propose des composants de contrôle avancés qui comprennent une machine de surveillance de processus multi-niveaux et la mesure de la température à la tranche de la chambre médiane. Cet outil est également doté d'un puissant outil de nettoyage précis, comprenant une chambre de nettoyage dédiée et un modèle de gestion environnementale (SGE). Cela permet à l'utilisateur de contrôler le processus de nettoyage pour des résultats de gravure optimaux. AXCELIS G03 fournit également une géométrie de chambre avancée permettant d'atteindre des rapports d'aspect élevés. Il offre également un porte-plaquettes rotatif unique pour assurer une gravure très uniforme, et une option de chauffage uniforme pour maintenir des conditions thermiques uniformes. En outre, le progiciel de cet équipement comprend divers modules pour le contrôle des processus, la gestion des séquences de lots, la gestion des recettes, etc. G03 a un certain nombre de caractéristiques qui en font un choix idéal pour la production de divers dispositifs semi-conducteurs. Ce système est compatible avec la plupart des photorésistes courants, et il a une capacité de débit de gaz généreux, avec de multiples configurations de dosage de gaz, pour permettre un réglage précis du processus de gravure. En outre, l'unité offre de nombreuses caractéristiques de sécurité, y compris une machine d'entretoisement de porte sécurisée et plusieurs capteurs de sécurité pour assurer un environnement de travail sûr. AXCELIS/FUSION G03 est un outil de graveur/asher fiable et efficace qui permet d'assurer une excellente productivité et d'excellents résultats. Ses composants de commande avancés, sa géométrie de chambre et son porte-plaquettes rotatifs uniques en font un excellent choix pour tout environnement de production de semi-conducteurs.
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